Menù Web

Ricerca prodotto

Lingua

Prodotti
Sfida di lucidatura CMP
  • Sfida di lucidatura CMPSfida di lucidatura CMP

Sfida di lucidatura CMP

La sospensione di lucidatura CMP (liquame di lucidatura meccanica chimica) è un materiale ad alte prestazioni utilizzato nella produzione di semiconduttori e nella lavorazione del materiale di precisione. La sua funzione principale è quella di ottenere planarità fine e lucidatura della superficie del materiale sotto l'effetto sinergico della corrosione chimica e della macinazione meccanica per soddisfare i requisiti di planarità e qualità della superficie a livello nano. In attesa della tua ulteriore consultazione.
Invia richiesta
Descrizione del prodotto

La sospensione di lucidatura CMP di Veteksemicon viene utilizzata principalmente come abrasiva di lucidatura nella liquame di lucidatura meccanica chimica CMP per i materiali a semiconduttore planare. Ha i seguenti vantaggi:

● Il grado di associazione del diametro e delle particelle delle particelle può essere controllato liberamente;
● Le particelle sono monodisperse e la distribuzione delle dimensioni delle particelle è uniforme;
● Il sistema di dispersione è stabile;
● La scala di produzione di massa è grande e la differenza tra i lotti è piccola;
● Non è facile condensare e sistemarsi.


Indicatori di performance per i prodotti della serie di purezza ultra-alta

Parametro
 Unità
 Indicatori di performance per i prodotti della serie di purezza ultra-alta
VESC-1
 VESC-2
 VESC-3
 VESC-4
 VESC-5
 VESC-6
 VESC-7
Dimensione media delle particelle di silice
 nm
 35 ± 5
 45 ± 5
 65 ± 5
 75 ± 5
 85 ± 5
 100 ± 5
 120 ± 5
Distribuzione delle dimensioni delle nanoparticelle (PDI)
 1 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
Soluzione PH
 1 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
Contenuto solido
 % 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
Aspetto
 -
 Azzurro
 Blu
 Bianco
 Bianco
 Bianco
 Bianco
 Bianco
Morfologia delle particelle x
 X ： S- PHERICO ； B-CURVED ； ； P-PEANUT ； ； T-T-bulboso ； a catena (stato aggregato)
Stabilizzare ioni
 Ammine organiche / inorganiche
Composizione delle materie prime y
 E ： M-TMOS ； e-you ； me-tamos+teos ； em-ezos+tmos
Contenuto di impurità del metallo
 ≤ 300ppb


Applicazioni del prodotto di liquame di lucidatura CMP ：


● Materiali ILD integrati CMP

● CMP di materiali poli-Si circuiti integrati

● Materiali di wafer di silicio a cristallo singolo a semiconduttore CMP

● Materiali in carburo di silicio a semiconduttore CMP

● CMP di materiali STI a circuito integrato

● Materiali di strato di barriera metallica e metallo integrato in metallo CMP


Tag caldi: Sfida di lucidatura CMP
Categoria correlata
Invia richiesta
Informazioni di contatto
Per domande sul rivestimento in carburo di silicio, rivestimento in carburo di tantalio, grafite speciale o listino prezzi, lasciaci la tua e-mail e ti contatteremo entro 24 ore.
prodotti correlati
Nanopolvere di fase MAX
Nanopolvere di fase MAX Visualizza altro >>
Tecnologia di spruzzatura termica dei semiconduttori
Tecnologia di spruzzatura termica dei semiconduttori Visualizza altro >>
Wafer che gestisce il braccio robotico
Wafer che gestisce il braccio robotico Visualizza altro >>
Condensatore MLCC con tecnologia di spruzzatura termica
Condensatore MLCC con tecnologia di spruzzatura termica Visualizza altro >>
Deposizione di vapore fisico
Deposizione di vapore fisico Visualizza altro >>
Consigli sulle notizie
Cos'è la crescita del cristallo in carburo di silicio?
Cos'è la crescita del cristallo in carburo di silicio?Visualizza altro >>
Ricetta di deposizione di strati atomici ALD
Ricetta di deposizione di strati atomici ALDVisualizza altro >>
Cos'è il rivestimento TAC in carburo di Tantalum? - Veteksemicon
Cos'è il rivestimento TAC in carburo di Tantalum? - VeteksemiconVisualizza altro >>
Cos'è il carburo di tantalum (TAC)？
Cos'è il carburo di tantalum (TAC)？Visualizza altro >>
I problemi nel processo di incisione
I problemi nel processo di incisioneVisualizza altro >>
Cos'è un forno epitassiale EPI? - Semiconduttore VeTek
Cos'è un forno epitassiale EPI? - Semiconduttore VeTekVisualizza altro >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept