Grafite porosa

I produttori di substrato SIC usano comunemente un design crogiolo con un cilindro di grafite poroso per il processo di campo a caldo. Questo design aumenta l'area di evaporazione e il volume di carica. È stato sviluppato un nuovo processo per affrontare i difetti di cristallo, stabilizzare il trasferimento di massa e migliorare la qualità dei cristalli SIC. Incorpora un metodo di fissazione del vassoio di cristallo senza semi per l'espansione termica e il sollievo da stress. Tuttavia, l'offerta di mercato limitata di grafite crogiolo e grafite porosa pone sfide alla qualità e alla resa dei singoli cristalli SIC.

Caratteristiche chiave della grafite porosa VETEK Semiconductor:

1. Tolleranza all'ambiente di alta temperatura: il prodotto può resistere all'ambiente di 2500 gradi Celsius, dimostrando un'eccellente resistenza al calore.

2. Controllo della porosità strillo - Il semiconduttore Vetek mantiene un controllo a puntura stretta, garantendo prestazioni coerenti.

3. Ultra -High Purity - Il materiale di grafite poroso utilizzato raggiunge un alto livello di purezza attraverso rigorosi processi di purificazione.

4. Eccellente Capacità di legame delle particelle di superficie - Il semiconduttore Vetek ha un'eccellente capacità di legame delle particelle di superficie e resistenza all'adesione della polvere.

5. Trasporto, diffusione e uniformità dei GAS - La struttura porosa della grafite facilita il trasporto e la diffusione del gas efficienti, con conseguente miglioramento dell'uniformità di gas e particelle.

6. Controllo e stabilità della qualità - Vetek Semiconductor enfatizza l'elevata purezza, il basso contenuto di impurità e la stabilità chimica per garantire la qualità della crescita dei cristalli.

7. Controllo e uniformità della temperatura - La conduttività termica della grafite porosa consente la distribuzione uniforme della temperatura, riducendo lo stress e i difetti durante la crescita.

8. Diffusione del soluto potenziata e tasso di crescita: la struttura porosa promuove anche la distribuzione del soluto, migliorando il tasso di crescita e l'uniformità dei cristalli.