Nitruro di silicio

1. Eccellente stabilità chimica

Le ceramiche di nitruro di silicio hanno un'eccellente stabilità chimica e possono resistere a una varietà di acidi forti, alcali e gas corrosivi. Nel processo di produzione dei semiconduttori spesso deve affrontare sostanze chimiche corrosive, la ceramica di nitruro di silicio può fornire una garanzia di prestazioni stabili a lungo termine.

2. Eccellenti proprietà meccaniche

Le ceramiche di nitruro di silicio hanno un'elevata durezza, un'eccellente resistenza a compressione e resistenza all'usura, in grado di resistere allo stress meccanico e all'usura della superficie, non facile da deformazione o rottura. Questa proprietà meccanica lo rende molto adatto come materiale per le parti strutturali e di processo nelle apparecchiature a semiconduttore.

3. Stabilità ad alta temperatura

La ceramica di nitruro di silicio può mantenere la stabilità in ambienti ad alta temperatura, non facili da ammorbidire o sciogliere e resistere alla lavorazione e alla manipolazione ad alta temperatura nel processo di produzione dei semiconduttori. Ciò consente di essere utilizzato nella produzione di componenti chiave dell'attrezzatura di processo ad alta temperatura, come pinze, componenti della camera di reazione e così via.

4. Eccellenti proprietà isolanti

Le proprietà isolanti sono fondamentali nella produzione di dispositivi a semiconduttore. Le ceramiche di nitruro di silicio hanno buone proprietà isolanti, che possono effettivamente isolare e proteggere i componenti dei circuiti dalle perdite di corrente o dalle interferenze elettromagnetiche, contribuendo a migliorare la stabilità e l'affidabilità del dispositivo.

5. Conducibilità termica e conducibilità termica

Le ceramiche di nitruro di silicio hanno un'alta conducibilità termica, può effettivamente condurre e dissipare il calore generato dal dispositivo, contribuendo a mantenere la stabilità della temperatura del dispositivo nel processo operativo. Ciò è fondamentale per il funzionamento ad alte prestazioni dei dispositivi a semiconduttore.

1. Chucks elettrostatici e componenti della camera di incisione

Le ceramiche di nitruro di silicio sono spesso utilizzate come materiali per i mandrini elettrostatici e i componenti della camera di incisione nella produzione di semiconduttori a causa della loro eccellente stabilità chimica e resistenza ad alta temperatura. I manichini elettrostatici vengono utilizzati per fissare e stabilizzare wafer o substrati, mentre i componenti della camera di incisione vengono utilizzati per resistere a gas corrosivi e ambienti ad alta temperatura.

2. Piatti di distribuzione del gas e riflettori

Le ceramiche di nitruro di silicio sono anche utilizzate nella produzione di apparecchiature a semiconduttore nelle piastre e nei riflettori di distribuzione del gas. Le piastre di distribuzione del gas vengono utilizzate per distribuire uniformemente i gas reattivi o protettivi nella camera di reazione, mentre i riflettori vengono utilizzati per ottimizzare la distribuzione e il riflesso della luce all'interno della camera di reazione per migliorare l'efficienza e l'uniformità della reazione.

3. Titoli e componenti termici

Le ceramiche di nitruro di silicio sono spesso utilizzate come portatili e componenti di gestione termica nelle apparecchiature di produzione di semiconduttori. Questi componenti devono avere una buona resistenza meccanica, resistenza all'usura e conducibilità termica per garantire il funzionamento stabile delle apparecchiature e l'accuratezza dell'elaborazione del dispositivo.

4. PAD CMP di lucidatura meccanica chimica (CMP)

La ceramica di nitruro di silicio è ampiamente utilizzata come materiale del cuscinetto nel processo di lucidatura meccanica chimica (CMP). Ha un'eccellente resistenza di planarità e usura e può fornire un supporto stabile durante il processo di lucidatura per garantire la planarità e la precisione della superficie del wafer di semiconduttore.