Ceramica al carburo di silicio

VeTek Semiconductor è il vostro partner innovativo nel campo della lavorazione dei semiconduttori. Con il nostro ampio portafoglio di combinazioni di materiali ceramici al carburo di silicio di grado semiconduttore, capacità di produzione di componenti e servizi di ingegneria applicativa, possiamo aiutarvi a superare sfide significative. Le ceramiche tecniche di ingegneria del carburo di silicio sono ampiamente applicate nell'industria dei semiconduttori grazie alle loro eccezionali prestazioni dei materiali. Le ceramiche ultra pure di carburo di silicio di VeTek Semiconductor vengono spesso utilizzate durante l'intero ciclo di produzione e lavorazione dei semiconduttori.

DIFFUSIONE ED ELABORAZIONE LPCVD

VeTek Semiconductor fornisce componenti ceramici ingegnerizzati specificatamente progettati per la diffusione batch e i requisiti LPCVD, tra cui:

• Deflettori e supporti
• Iniettori
• Liner e tubi di processo
• Pale a sbalzo in carburo di silicio
• Navicelle e piedistalli per wafer

Pagaia a sbalzo SiC Tubi di processo SiC Tubo di processo in carburo di silicio Barca per wafer verticale SiC Barca per wafer orizzontale SiC Barca con wafer quadrato SiC orizzontale Barca per wafer SiC LPCVD Barca a piastra orizzontale in SiC Anello di tenuta in ceramica SiC

COMPONENTI DEL PROCESSO DI ETCH

Riduci al minimo la contaminazione e la manutenzione non programmata con componenti ad elevata purezza progettati per i rigori del processo di incisione al plasma, tra cui:

COMPONENTI PER IL TRATTAMENTO TERMICO RAPIDO E IL PROCESSO EPITAXIALE

VeTek Semiconductor fornisce componenti di materiali avanzati su misura per applicazioni di trattamento termico ad alta temperatura nel settore dei semiconduttori. Queste applicazioni comprendono RTP, processi Epi, diffusione, ossidazione e ricottura. Le nostre ceramiche tecniche sono progettate per resistere agli shock termici, offrendo prestazioni affidabili e costanti. Con i componenti di VeTek Semiconductor, i produttori di semiconduttori possono ottenere un trattamento termico efficiente e di alta qualità, contribuendo al successo complessivo della produzione di semiconduttori.