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Epitassia del silicio

Epitassia di silicio, EPI, epitassia, epitassiale si riferisce alla crescita di uno strato di cristallo con la stessa direzione cristallina e lo spessore di cristallo diverso su un singolo substrato di silicio cristallino. La tecnologia di crescita epitassiale è necessaria per la produzione di componenti discreti dei semiconduttori e circuiti integrati, poiché le impurità contenute nei semiconduttori includono tipo N e P-Type. Attraverso una combinazione di diversi tipi, i dispositivi a semiconduttore presentano una varietà di funzioni.


Il metodo di crescita dell'epitassia del silicio può essere diviso in epitassia della fase gassosa, epitassia della fase liquida (LPE), epitassia in fase solida, metodo di crescita della deposizione di vapore chimico è ampiamente utilizzato nel mondo per soddisfare l'integrità reticolare.


L'attrezzatura epitassiale tipica del silicio è rappresentata dalla società italiana LPE, che ha il pancake epitassiale hy pnotic Tor, il tipo di barilotto hy pnotic Tor, il semiconduttore hy pnotic, il portatore di wafer e così via. Il diagramma schematico della camera di reazione epitassiale a forma di barile è il seguente. Vetek Semiconductor può fornire wafer a forma di pelettore epitassiale a forma di botte. La qualità del pelettore con rivestimento SIC è molto matura. Qualità equivalente a SGL; Allo stesso tempo, Vetek Semiconductor può anche fornire ugello al quarzo della cavità epitassiale di silicio, deflettore di quarzo, baffle di quarzo, vaso a campana e altri prodotti completi.


Suscettore epitassiale verticale per epitassia al silicio:


Schematic diagram of Vertical Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Prodotti di suscettore epitassiale verticale principale di Vetek Semiconductor


SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI SUSTCTOR CANNE DI GRAFITE SIC PER EPI SiC Coated Barrel Susceptor Susoce del barilotto rivestito di SIC CVD SiC Coated Barrel Susceptor Suscettore a botte rivestito di SIC CVD LPE SI EPI Susceptor Set LPE If Epi Supporter Set



Suscettore epitassiale orizzonale per epitassia al silicio:


Schematic diagram of Horizontal Epitaxial Susceptor for Silicon Epitaxy


Prodotti suscettori epitassiali orizzontali principali di Vetek Semiconductor


SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray SIC rivestimento monocristallino silicio vassoio epitassiale SiC Coated Support for LPE PE2061S Supporto rivestito SIC per LPE PE2061S Graphite Rotating Susceptor Supporto rotante in grafite



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SIC rivestimento monocristallino silicio vassoio epitassiale

SIC rivestimento monocristallino silicio vassoio epitassiale

Il rivestimento monocristallino del silicio SIC è un accessorio importante per la fornace di crescita epitassiale del silicio monocristallino, garantendo un inquinamento minimo e un ambiente di crescita epitassiale stabile. VETEK Semiconductor Il rivestimento del silicio monocristallino di Vetek Semiconductor ha una durata di un servizio ultra-lungo e offre una varietà di opzioni di personalizzazione. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.
Susoce del barile di rivestimento CVD SIC

Susoce del barile di rivestimento CVD SIC

VETEK Semiconductor CVD SIC SUSTCTOR COUNT COUNT è il componente principale della fornace epitassiale di tipo a canna. Con l'aiuto del suscettore a botte di rivestimento CVD SIC, la quantità e la qualità della crescita epitassiale sono molto impigliati nel livello di World. Semiconductor non vede l'ora di stabilire una stretta relazione cooperativa con te nel settore dei semiconduttori.
Supporto rotante in grafite

Supporto rotante in grafite

Il suscettore a rotazione di grafite ad alta purezza svolge un ruolo importante nella crescita epitassiale del nitruro di gallio (processo MOCVD). Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di suscettori a rotazione in grafite e fornitore in Cina. Abbiamo sviluppato molti prodotti di grafite ad alta purezza basati su materiali di grafite ad alta purezza, che soddisfano completamente i requisiti del settore dei semiconduttori. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner nel suscettore a rotazione di grafite.
Suscettore CVD Sic Pancake

Suscettore CVD Sic Pancake

Come produttore leader e innovatore dei prodotti Sic Pancake SIC CVD in Cina. VETEK Semiconductor CVD SIC SUSCTOR PANCIAKE, come componente a forma di disco progettato per apparecchiature a semiconduttore, è un elemento chiave per supportare sottili wafer a semiconduttore durante la deposizione epitassiale ad alta temperatura. Vetek Semiconductor si impegna a fornire prodotti di suscitatore di pancake SIC di alta qualità e diventare il tuo partner a lungo termine in Cina a prezzi competitivi.
Suscettore a botte rivestito di CVD SIC

Suscettore a botte rivestito di CVD SIC

Vetek Semiconductor è un produttore leader e innovatore del suscettore di grafite rivestito in CVD in Cina. Il nostro suscettore a botte rivestito CVD SIC svolge un ruolo chiave nel promuovere la crescita epitassiale di materiali a semiconduttore sui wafer con le sue eccellenti caratteristiche del prodotto. Benvenuti nella tua ulteriore consultazione.
Epi Supporter

Epi Supporter

Il suscettore EPI è progettato per le esigenti applicazioni di apparecchiature epitassiali. La sua struttura di grafite rivestita in carburo di silicio ad alta purezza (SIC) offre un'eccellente resistenza al calore, uniforme uniformità termica per lo spessore e la resistenza dello strato epitassiale coerente e la resistenza chimica a lungo termine. Non vediamo l'ora di cooperare con te.

Veteksemicon silicon epitaxy solutions are your strategic procurement choice for advanced semiconductor wafer processing, particularly in CMOS, power devices, and MEMS applications. As a key process in wafer engineering, silicon epitaxy (Si Epi) involves the precise deposition of a crystalline silicon layer on top of a polished silicon wafer, offering superior control of doping profiles, defect density, and layer thickness.


Veteksemicon provides epitaxy-ready susceptor parts and reactor components used in Epi CVD systems, supporting both atmospheric and reduced pressure processes. Our product lineup includes silicon epitaxy susceptors, carrier rings, and coated wafer holders, optimized for compatibility with tools from Applied Materials, ASM, and Tokyo Electron (TEL).


Silicon epitaxy plays a critical role in producing ultra-thin junctions, strained silicon layers, and high-voltage isolation structures. Our materials and parts are engineered for high-purity, uniform thermal distribution, and anti-contamination performance during n-type and p-type epitaxial growth.


Closely associated terms include epitaxial wafer, in-situ doping, epitaxy-ready SiC coatings, and epi reactor parts, which support the entire upstream and downstream process of silicon-based IC fabrication.


Discover more about Veteksemicon’s silicon epitaxy support solutions by visiting our product detail page or contacting us for technical consultation and part customization.


Come produttore e fornitore professionista Epitassia del silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Epitassia del silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.
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