Rivestimento in carburo di tantalio

VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca e lo sviluppo continui di tecnologie iterative.

I prodotti principali sonoAnello guida rivestito in TaC, Anello guida a tre petali rivestito in CVD TaC, Mezzaluna rivestita in TaC al carburo di tantalio, Suscettore epitassiale planetario SiC con rivestimento CVD TaC, Anello di rivestimento in carburo di tantalio, Grafite porosa rivestita in carburo di tantalio, Suscettore di rotazione del rivestimento TaC, Anello in carburo di tantalio, Piastra di rotazione del rivestimento TaC, Suscettore wafer rivestito in TaC, Anello deflettore rivestito in TaC, Copertura con rivestimento CVD TaC, Mandrino rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.

La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:

Excellent properties of TaC coating graphite

Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.

Caratteristiche principali:

●Stabilità della temperatura

●Purezza ultra elevata

●Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistenza allo stock termico

●Forte adesione alla grafite

●Copertura del rivestimento conforme

● Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)

Applicazioni:

●Porta-wafer

● Suscettore di riscaldamento induttivo

● Elemento riscaldante resistivo

●Disco satellitare

●Soffione doccia

●Anello guida

●Ricevitore Epi LED

●Ugello di iniezione

●Anello di mascheramento

● Scudo termico

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10^-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Dati EDX del rivestimento TaC：

EDX data of TaC coating

Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC:

Elemento	Percentuale atomica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Media
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Loro	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrino con rivestimento TaC Disco planetario con rivestimento TaC
Piastra rivestita in TaC Piastra di rotazione del rivestimento TaC Ricevitore con rivestimento TaC Copertura con rivestimento CVD TaC Anello di rivestimento CVD TaC Piastra di rivestimento TaC

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Anello rivestito TAC per la crescita del PVT del singolo cristallo SIC

Come uno dei principali fornitori di prodotti per rivestimento TAC in Cina, Vetek Semiconductor è in grado di fornire ai clienti parti personalizzate con rivestimento TAC di alta qualità. L'anello rivestito TAC per la crescita del PVT del cristallo singolo SIC è uno dei prodotti più eccezionali e maturi di Vetek Semiconductor. Ha un ruolo importante nella crescita del PVT del processo di cristallo SIC e può aiutare i clienti a far crescere cristalli SIC di alta qualità. In attesa della tua richiesta.

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Anello guida a tre petali rivestito CVD TAC

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L'anello di rivestimento in carburo di semiconduttore di Vetek Tantalum è un componente indispensabile nel settore dei semiconduttori, in particolare nell'incisione dei wafer SIC. La sua combinazione di base di grafite e rivestimento TAC garantisce prestazioni superiori in ambienti ad alta temperatura e chimicamente aggressivi. Con la sua stabilità termica migliorata, resistenza alla corrosione e resistenza meccanica, l'anello rivestito in carburo di Tantalum aiuta i produttori di semiconduttori a raggiungere precisione, affidabilità e risultati di alta qualità nei loro processi di produzione.

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Anello di rivestimento TaC

L'anello di rivestimento TAC è un componente ad alte prestazioni progettato per l'uso nei processi a semiconduttore, l'anello di rivestimento TAC a semiconduttore VETEK ha un'elevata stabilità termica, resistenza alla corrosione chimica e eccellente resistenza meccanica dove un controllo preciso e una durata sono essenziali per raggiungere wafer di alta qualità. Non vediamo l'ora della tua ulteriore consultazione.

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Come fornitore di crogioli e produttore di crogioli di rivestimento professionale in Cina, il crogiolo TAC di Vetek Semiconductor TAC svolge un ruolo insostituibile nel processo di crescita dei cristalli singoli dei semiconduttori con la sua eccellente conducibilità termica, l'eccezionale stabilità chimica e una maggiore resistenza alla corrosione. Benvenuti le tue ulteriori richieste.

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Anello di guida rivestita in carburo di tantalum

Come fornitore e produttore di anelli di rivestimento TAC leader in Cina, l'anello di guida rivestita in carburo di vetek Tantalum è un componente importante utilizzato per guidare e ottimizzare il flusso di gas reattivi nel metodo PVT (trasporto fisico vapore). Promuove la deposizione uniforme dei singoli cristalli SIC nella zona di crescita regolando la distribuzione e la velocità del flusso di gas. Vetek Semiconductor è un produttore leader e fornitore di anelli di guida per rivestimento TAC in Cina e persino nel mondo e non vediamo l'ora di consultare.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di tantalio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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Rivestimento in carburo di tantalio

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Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Dati EDX del rivestimento TaC：

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