Novità del settore

Tra le tecnologie disponibili, il forno di crescita dei cristalli SiC con riscaldamento a resistenza di grandi dimensioni è emerso come una soluzione fondamentale per la produzione di cristalli SiC di grande diametro e a basso difetto con consistenza ed efficienza migliorate. Questo articolo esplora come funziona questa tecnologia, i suoi vantaggi, le applicazioni e perché i leader del settore si affidano alle soluzioni innovative di Veteksemi.

Un suscettore in grafite rivestito in SiC per ASM non è solo una parte di ricambio all'interno di un sistema epitassia. Si tratta di un vettore critico per il processo che influenza l'uniformità termica, la pulizia del wafer, la durata del rivestimento, la stabilità della camera e i costi di produzione a lungo termine.

Una copertura di rivestimento CVD TaC non è solo un coperchio protettivo o un componente rivestito in grafite. Nei processi con semiconduttori ad alta temperatura, può influenzare la pulizia della camera, la stabilità termica, la durata delle parti e la coerenza del processo.