Perché il rivestimento SIC è un materiale chiave chiave per la crescita epitassiale SIC?

Nelle apparecchiature CVD, il substrato non può essere posizionato direttamente sul metallo o semplicemente su una base per la deposizione epitassiale, poiché coinvolge vari fattori come la direzione del flusso di gas (orizzontale, verticale), temperatura, pressione, fissazione e inquinanti in caduta. Pertanto, è necessaria una base e quindi il substrato viene posizionato sul disco e quindi la deposizione epitassiale viene eseguita sul substrato utilizzando la tecnologia CVD. Questa base è ilBase di grafite rivestita di SiC.

Come componente di base, la base di grafite ha una resistenza e un modulo specifici elevati, una buona resistenza agli shock termici e resistenza alla corrosione, ma durante il processo di produzione, la grafite sarà corrosa e polvere a causa della materia residua di gas corrosivo e metallo e la durata del servizio della base di grafite sarà notevolmente ridotta. Allo stesso tempo, la polvere di grafite caduta causerà contaminazione al chip. Nel processo di produzione diwafer epitassiali in carburo di silicio, è difficile soddisfare i requisiti di utilizzo sempre più rigorosi delle persone per i materiali di grafite, che ne limitano seriamente lo sviluppo e l'applicazione pratica. Pertanto, la tecnologia del rivestimento ha iniziato a salire.

Vantaggi del rivestimento SIC nel settore dei semiconduttori

Le proprietà fisiche e chimiche del rivestimento hanno requisiti rigorosi per la resistenza ad alta temperatura e la resistenza alla corrosione, che influenzano direttamente la resa e la vita del prodotto. Il materiale SIC ha un'alta resistenza, un'alta durezza, un coefficiente di espansione termica bassa e una buona conducibilità termica. È un importante materiale strutturale ad alta temperatura e materiale a semiconduttore ad alta temperatura. Viene applicato alla base di grafite. I suoi vantaggi sono:

1) SIC è resistente alla corrosione e può avvolgere completamente la base di grafite. Ha una buona densità ed evita danni da gas corrosivo.

2) SIC ha un'elevata conduttività termica e un'elevata resistenza al legame con la base di grafite, garantendo che il rivestimento non sia facile da cadere dopo più cicli ad alta temperatura e bassa temperatura.

3) SIC ha una buona stabilità chimica per evitare il fallimento del rivestimento in un'atmosfera ad alta temperatura e corrosiva.

Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD

Inoltre, i forni epitassiali di materiali diversi richiedono vassoi di grafite con diversi indicatori di prestazione. L'abbinamento del coefficiente di espansione termica dei materiali di grafite richiede l'adattamento alla temperatura di crescita del forno epitassiale. Ad esempio, la temperatura diEpitassia in carburo di silicioè alto ed è richiesto un vassoio con elevata corrispondenza del coefficiente di espansione termica. Il coefficiente di espansione termica di SIC è molto vicino a quello della grafite, rendendolo adatto come materiale preferito per il rivestimento superficiale della base di grafite.

I materiali SIC hanno una varietà di forme di cristallo. I più comuni sono 3c, 4h e 6h. SIC di diverse forme di cristallo ha usi diversi. Ad esempio, 4H-SIC può essere utilizzato per produrre dispositivi ad alta potenza; 6H-SIC è il più stabile e può essere utilizzato per produrre dispositivi optoelettronici; 3C-SIC può essere utilizzato per produrre strati epitassiali GAN e produrre dispositivi RF SIC-GAN a causa della sua struttura simile al GAN. 3C-SIC è anche comunemente indicato come β-SIC. Un uso importante di β-SIC è come film sottile e materiale di rivestimento. Pertanto, β-SIC è attualmente il materiale principale per il rivestimento.

Struttura chimica-SIC

Come consumabile comune nella produzione di semiconduttori, il rivestimento SIC viene utilizzato principalmente nei substrati, nell'epitassia,diffusione dell'ossidazione, impianto di incisione e ioni. Le proprietà fisiche e chimiche del rivestimento hanno requisiti rigorosi per la resistenza ad alta temperatura e la resistenza alla corrosione, che influenzano direttamente la resa e la vita del prodotto. Pertanto, la preparazione del rivestimento SIC è fondamentale.