Novità del settore

Man mano che il processo in carburo di silicio da 8 pollici (SIC) matura, i produttori stanno accelerando il passaggio da 6 pollici a 8 pollici. Di recente, su Semiconductor e Resonac hanno annunciato aggiornamenti sulla produzione SIC da 8 pollici.

Questo articolo presenta gli ultimi sviluppi del reattore CVD a pareti calde PE1O8 di nuova concezione dell'azienda italiana LPE e la sua capacità di eseguire un'epitassia 4H-SiC uniforme su SiC da 200 mm.

Con la crescente domanda di materiali SiC nell'elettronica di potenza, nell'optoelettronica e in altri campi, lo sviluppo della tecnologia di crescita del cristallo singolo SiC diventerà un'area chiave dell'innovazione scientifica e tecnologica. Essendo il nucleo delle apparecchiature per la crescita del singolo cristallo SiC, la progettazione del campo termico continuerà a ricevere ampia attenzione e ricerca approfondita.