Progettazione del campo termico per crescita a cristallo singolo SIC

1 Importanza della progettazione del campo termico nelle apparecchiature di crescita a cristallo singolo SIC

Il cristallo singolo SiC è un importante materiale semiconduttore, ampiamente utilizzato nell'elettronica di potenza, nell'optoelettronica e nelle applicazioni ad alta temperatura. La progettazione del campo termico influisce direttamente sul comportamento di cristallizzazione, sull'uniformità e sul controllo delle impurità del cristallo e ha un'influenza decisiva sulle prestazioni e sul rendimento delle apparecchiature per la crescita del singolo cristallo SiC. La qualità del monocristallo SiC influisce direttamente sulle sue prestazioni e affidabilità nella produzione dei dispositivi. Progettando razionalmente il campo termico, è possibile ottenere l'uniformità della distribuzione della temperatura durante la crescita dei cristalli, evitare lo stress termico e il gradiente termico nel cristallo, riducendo così il tasso di formazione di difetti cristallini. La progettazione ottimizzata del campo termico può anche migliorare la qualità della faccia del cristallo e la velocità di cristallizzazione, migliorare ulteriormente l'integrità strutturale e la purezza chimica del cristallo e garantire che il singolo cristallo SiC cresciuto abbia buone proprietà elettriche e ottiche.

Il tasso di crescita del singolo cristallo SIC influisce direttamente sul costo e sulla capacità di produzione. Progettando razionalmente il campo termico, è possibile ottimizzare il gradiente di temperatura e la distribuzione del flusso di calore durante il processo di crescita dei cristalli e il tasso di crescita del cristallo e il tasso di utilizzo effettivo dell'area di crescita possono essere migliorati. La progettazione del campo termico può anche ridurre la perdita di energia e i rifiuti dei materiali durante il processo di crescita, ridurre i costi di produzione e migliorare l'efficienza della produzione, aumentando così la produzione di singoli cristalli SIC. Le apparecchiature di crescita a cristallo singolo SIC di solito richiedono una grande quantità di sistema di approvvigionamento energetico e di raffreddamento e la progettazione razionale del campo termico può ridurre il consumo di energia, ridurre il consumo di energia e le emissioni ambientali. Ottimizzando la struttura del campo termico e il percorso del flusso di calore, l'energia può essere massimizzata e il calore dei rifiuti può essere riciclato per migliorare l'efficienza energetica e ridurre gli impatti negativi sull'ambiente.

2 difficoltà nella progettazione del campo termico di attrezzature a crescita singola SIC

2.1 Non uniformità della conduttività termica dei materiali

Il SiC è un materiale semiconduttore molto importante. La sua conduttività termica ha le caratteristiche di stabilità alle alte temperature e di eccellente conduttività termica, ma la sua distribuzione di conduttività termica presenta una certa disuniformità. Nel processo di crescita del singolo cristallo SiC, al fine di garantire l'uniformità e la qualità della crescita dei cristalli, il campo termico deve essere controllato con precisione. La non uniformità della conduttività termica dei materiali SiC porterà all'instabilità della distribuzione del campo termico, che a sua volta influisce sull'uniformità e sulla qualità della crescita dei cristalli. Le apparecchiature per la crescita di cristalli singoli SiC adottano solitamente il metodo di deposizione fisica in fase vapore (PVT) o il metodo di trasporto in fase gassosa, che richiede il mantenimento di un ambiente ad alta temperatura nella camera di crescita e la realizzazione della crescita dei cristalli controllando con precisione la distribuzione della temperatura. La non uniformità della conduttività termica dei materiali SiC porterà a una distribuzione non uniforme della temperatura nella camera di crescita, influenzando così il processo di crescita dei cristalli, che potrebbe causare difetti dei cristalli o una qualità dei cristalli non uniforme. Durante la crescita dei singoli cristalli SiC, è necessario eseguire la simulazione dinamica tridimensionale e l'analisi del campo termico per comprendere meglio la legge mutevole della distribuzione della temperatura e ottimizzare la progettazione in base ai risultati della simulazione. A causa della non uniformità della conduttività termica dei materiali SiC, queste analisi di simulazione possono essere influenzate da un certo grado di errore, influenzando così il controllo preciso e la progettazione di ottimizzazione del campo termico.

2.2 Difficoltà di regolazione della convezione all'interno dell'apparecchiatura

Durante la crescita dei singoli cristalli di SiC, è necessario mantenere un rigoroso controllo della temperatura per garantire l'uniformità e la purezza dei cristalli. Il fenomeno della convezione all'interno dell'apparecchiatura può causare la non uniformità del campo di temperatura, compromettendo così la qualità dei cristalli. La convezione solitamente forma un gradiente di temperatura, che risulta in una struttura non uniforme sulla superficie del cristallo, che a sua volta influisce sulle prestazioni e sull'applicazione dei cristalli. Un buon controllo della convezione può regolare la velocità e la direzione del flusso del gas, il che aiuta a ridurre la non uniformità della superficie cristallina e a migliorare l'efficienza della crescita. La complessa struttura geometrica e il processo di dinamica dei gas all'interno dell'apparecchiatura rendono estremamente difficile il controllo accurato della convezione. Un ambiente ad alta temperatura porterà a una diminuzione dell'efficienza del trasferimento di calore e aumenterà la formazione di gradienti di temperatura all'interno dell'apparecchiatura, influenzando così l'uniformità e la qualità della crescita dei cristalli. Alcuni gas corrosivi possono intaccare i materiali e gli elementi di trasferimento del calore all'interno dell'apparecchiatura, compromettendo così la stabilità e la controllabilità della convezione. Le apparecchiature per la crescita di cristalli singoli SiC hanno solitamente una struttura complessa e molteplici meccanismi di trasferimento del calore, come il trasferimento del calore per radiazione, il trasferimento del calore per convezione e la conduzione del calore. Questi meccanismi di trasferimento del calore sono accoppiati tra loro, rendendo la regolazione della convezione più complicata, soprattutto quando sono presenti flussi multifase e processi di cambiamento di fase all'interno dell'apparecchiatura, è più difficile modellare e controllare accuratamente la convezione.

3 punti chiave della progettazione del campo termico di apparecchiature di crescita a cristallo singolo SIC

3.1 Distribuzione e controllo della potenza termica

Nella progettazione del campo termico, la modalità di distribuzione e la strategia di controllo della potenza di riscaldamento devono essere determinate in base ai parametri di processo e ai requisiti della crescita dei cristalli. L'attrezzatura a crescita a cristallo singolo SIC utilizza aste di riscaldamento a grafite o riscaldatori a induzione per il riscaldamento. L'uniformità e la stabilità del campo termico possono essere ottenute progettando il layout e la distribuzione dell'alimentazione del riscaldatore. Durante la crescita dei singoli cristalli SIC, l'uniformità della temperatura ha un'influenza importante sulla qualità del cristallo. La distribuzione della potenza di riscaldamento dovrebbe essere in grado di garantire l'uniformità della temperatura nel campo termico. Attraverso la simulazione numerica e la verifica sperimentale, è possibile determinare la relazione tra potenza di riscaldamento e distribuzione della temperatura, quindi lo schema di distribuzione dell'energia di riscaldamento può essere ottimizzata per rendere la distribuzione della temperatura nel campo termico più uniforme e stabile. Durante la crescita dei singoli cristalli SIC, il controllo della potenza di riscaldamento dovrebbe essere in grado di ottenere una regolazione precisa e un controllo stabile della temperatura. Algoritmi di controllo automatico come controller PID o controller fuzzy possono essere utilizzati per ottenere il controllo a circuito chiuso della potenza di riscaldamento in base ai dati di temperatura in tempo reale alimentati dai sensori di temperatura per garantire la stabilità e l'uniformità della temperatura nel campo termico. Durante la crescita dei singoli cristalli SIC, la dimensione della potenza di riscaldamento influenzerà direttamente il tasso di crescita dei cristalli. Il controllo della potenza di riscaldamento dovrebbe essere in grado di ottenere una regolazione precisa del tasso di crescita dei cristalli. Analizzando e verificando sperimentalmente la relazione tra potenza di riscaldamento e tasso di crescita dei cristalli, è possibile determinare una ragionevole strategia di controllo del potere di riscaldamento per ottenere un controllo preciso del tasso di crescita dei cristalli. Durante il funzionamento delle apparecchiature di crescita a cristallo singolo SIC, la stabilità della potenza di riscaldamento ha un impatto importante sulla qualità della crescita dei cristalli. Sono necessarie attrezzature e sistemi di controllo stabili e affidabili per garantire la stabilità e l'affidabilità della potenza di riscaldamento. L'attrezzatura di riscaldamento deve essere regolarmente mantenuta e servita a scoprire e risolvere tempestivamente guasti e problemi nell'attrezzatura di riscaldamento per garantire il normale funzionamento dell'apparecchiatura e la produzione stabile di energia di riscaldamento. Progettando razionalmente lo schema di distribuzione dell'energia di riscaldamento, considerando la relazione tra energia di riscaldamento e distribuzione della temperatura, realizzando un controllo preciso della potenza di riscaldamento e garantendo la stabilità e l'affidabilità della potenza di riscaldamento, l'efficienza della crescita e la qualità dei cristalli delle apparecchiature di crescita a singolo cristallo SIC È possibile promuovere effettivamente il progresso e lo sviluppo della tecnologia di crescita a cristallo singolo SIC.

3.2 Progettazione e adeguamento del sistema di controllo della temperatura

Prima di progettare il sistema di controllo della temperatura, è necessaria l'analisi della simulazione numerica per simulare e calcolare i processi di trasferimento di calore come la conduzione del calore, la convezione e le radiazioni durante la crescita dei singoli cristalli SIC per ottenere la distribuzione del campo di temperatura. Attraverso la verifica sperimentale, i risultati della simulazione numerica vengono corretti e regolati per determinare i parametri di progettazione del sistema di controllo della temperatura, come energia di riscaldamento, layout dell'area di riscaldamento e posizione del sensore di temperatura. Durante la crescita dei singoli cristalli SIC, il riscaldamento di resistenza o il riscaldamento a induzione viene generalmente utilizzato per il riscaldamento. È necessario selezionare un elemento di riscaldamento adatto. Per il riscaldamento di resistenza, un filo di resistenza ad alta temperatura o un forno di resistenza possono essere selezionati come elemento di riscaldamento; Per il riscaldamento a induzione, è necessario selezionare una bobina di riscaldamento a induzione adeguata o una piastra di riscaldamento a induzione. Quando si selezionano un elemento di riscaldamento, devono essere considerati fattori come l'efficienza di riscaldamento, l'uniformità del riscaldamento, la resistenza ad alta temperatura e l'impatto sulla stabilità del campo termico. La progettazione del sistema di controllo della temperatura deve considerare non solo la stabilità e l'uniformità della temperatura, ma anche l'accuratezza della regolazione della temperatura e la velocità di risposta. È necessario progettare una strategia di controllo della temperatura ragionevole, come il controllo PID, il controllo fuzzy o il controllo della rete neurale, per ottenere un controllo e una regolazione accurati della temperatura. È inoltre necessario progettare uno schema di regolazione della temperatura adeguato, come la regolazione del collegamento multi-punto, la regolazione della compensazione locale o la regolazione del feedback, per garantire la distribuzione della temperatura uniforme e stabile dell'intero campo termico. Al fine di realizzare il preciso monitoraggio e controllo della temperatura durante la crescita dei singoli cristalli SIC, è necessario adottare la tecnologia di rilevamento della temperatura avanzata e le apparecchiature controller. È possibile scegliere sensori di temperatura ad alta precisione come termocoppie, resistori termici o termometri a infrarossi per monitorare le variazioni di temperatura in ciascuna area in tempo reale e scegliere apparecchiature di temperatura ad alte prestazioni, come il controller PLC (vedere la Figura 1) o il controller DSP , per ottenere un controllo preciso e una regolazione degli elementi di riscaldamento. Determinando i parametri di progettazione basati sulla simulazione numerica e sui metodi di verifica sperimentale, selezionando metodi di riscaldamento e elementi di riscaldamento adeguati, progettando strategie di controllo della temperatura ragionevoli e schemi di regolazione e utilizzando la tecnologia di rilevamento della temperatura avanzata e le apparecchiature controller, è possibile ottenere efficacemente un controllo preciso e una regolazione di La temperatura durante la crescita dei singoli cristalli SIC e migliora la qualità e la resa dei singoli cristalli.

3.3 Simulazione di fluidodinamica computazionale

La definizione di un modello accurato è la base per la simulazione della fluidodinamica computazionale (CFD). L'attrezzatura per la crescita del singolo cristallo SiC è solitamente composta da un forno di grafite, un sistema di riscaldamento a induzione, un crogiolo, un gas protettivo, ecc. Nel processo di modellazione, è necessario considerare la complessità della struttura del forno, le caratteristiche del metodo di riscaldamento e l'influenza del movimento del materiale sul campo di flusso. La modellazione tridimensionale viene utilizzata per ricostruire accuratamente le forme geometriche del forno, del crogiolo, della bobina di induzione, ecc. e considera i parametri fisico-termici e le condizioni al contorno del materiale, come il potere calorifico e la portata del gas.

Nella simulazione CFD, i metodi numerici comunemente usati includono il metodo del volume finito (FVM) e il metodo degli elementi finiti (FEM). Alla luce delle caratteristiche delle apparecchiature di crescita a singolo cristallo SIC, il metodo FVM viene generalmente utilizzato per risolvere il flusso del fluido e le equazioni di conduzione del calore. In termini di mesh, è necessario prestare attenzione alle aree chiave di suddivisione, come la superficie del crogiolo di grafite e l'area di crescita dei cristalli singoli, per garantire l'accuratezza dei risultati della simulazione. Il processo di crescita del singolo cristallo SIC comporta una varietà di processi fisici, come conduzione del calore, trasferimento di calore alle radiazioni, movimento del fluido, ecc. Secondo la situazione reale, sono selezionati modelli fisici e condizioni al contorno appropriate. Ad esempio, considerando la conduzione del calore e il trasferimento di calore delle radiazioni tra il crogiolo di grafite e il singolo cristallo SIC, è necessario impostare condizioni al contorno di trasferimento di calore appropriate; Considerando l'influenza del riscaldamento a induzione sul movimento del fluido, è necessario prendere in considerazione le condizioni al contorno della potenza di riscaldamento a induzione.

Prima della simulazione CFD, è necessario impostare il passo temporale della simulazione, i criteri di convergenza e altri parametri ed eseguire i calcoli. Durante il processo di simulazione, è necessario regolare continuamente i parametri per garantire la stabilità e la convergenza dei risultati della simulazione e post-elaborare i risultati della simulazione, come la distribuzione del campo di temperatura, la distribuzione della velocità del fluido, ecc., per ulteriori analisi e ottimizzazioni. . L'accuratezza dei risultati della simulazione viene verificata confrontando la distribuzione del campo di temperatura, la qualità del singolo cristallo e altri dati nel processo di crescita reale. Secondo i risultati della simulazione, la struttura del forno, il metodo di riscaldamento e altri aspetti sono ottimizzati per migliorare l'efficienza di crescita e la qualità del singolo cristallo delle apparecchiature di crescita del singolo cristallo SiC. La simulazione CFD della progettazione del campo termico delle apparecchiature di crescita del singolo cristallo SiC implica la definizione di modelli accurati, la selezione di metodi numerici e mesh appropriati, la determinazione di modelli fisici e condizioni al contorno, l'impostazione e il calcolo dei parametri di simulazione e la verifica e l'ottimizzazione dei risultati della simulazione. La simulazione CFD scientifica e ragionevole può fornire riferimenti importanti per la progettazione e l'ottimizzazione delle apparecchiature per la crescita del singolo cristallo SiC e migliorare l'efficienza della crescita e la qualità del singolo cristallo.

3.4 Design della struttura del forno

Considerando che la crescita del singolo cristallo SiC richiede alta temperatura, inerzia chimica e buona conduttività termica, il materiale del corpo del forno dovrebbe essere selezionato tra materiali resistenti alle alte temperature e alla corrosione, come ceramica al carburo di silicio (SiC), grafite, ecc. Il materiale SiC ha eccellenti stabilità alle alte temperature e inerzia chimica ed è un materiale ideale per il corpo del forno. La superficie della parete interna del corpo del forno deve essere liscia e uniforme per ridurre la radiazione termica e la resistenza al trasferimento di calore e migliorare la stabilità del campo termico. La struttura del forno dovrebbe essere semplificata il più possibile, con meno strati strutturali per evitare la concentrazione di stress termico e un eccessivo gradiente di temperatura. Una struttura cilindrica o rettangolare viene solitamente utilizzata per facilitare la distribuzione uniforme e la stabilità del campo termico. Elementi riscaldanti ausiliari come serpentine e resistori sono posizionati all'interno del forno per migliorare l'uniformità della temperatura e la stabilità del campo termico e garantire la qualità e l'efficienza della crescita del singolo cristallo. I metodi di riscaldamento comuni includono il riscaldamento a induzione, il riscaldamento a resistenza e il riscaldamento a radiazione. Nelle apparecchiature per la crescita di cristalli singoli SiC viene spesso utilizzata una combinazione di riscaldamento a induzione e riscaldamento a resistenza. Il riscaldamento a induzione viene utilizzato principalmente per il riscaldamento rapido per migliorare l'uniformità della temperatura e la stabilità del campo termico; il riscaldamento a resistenza viene utilizzato per mantenere una temperatura e un gradiente di temperatura costanti per mantenere la stabilità del processo di crescita. Il riscaldamento per radiazione può migliorare l'uniformità della temperatura all'interno del forno, ma viene solitamente utilizzato come metodo di riscaldamento ausiliario.

4 Conclusione

Con la crescente domanda di materiali SiC nell'elettronica di potenza, nell'optoelettronica e in altri campi, lo sviluppo della tecnologia di crescita del cristallo singolo SiC diventerà un'area chiave dell'innovazione scientifica e tecnologica. Essendo il nucleo delle apparecchiature per la crescita del singolo cristallo SiC, la progettazione del campo termico continuerà a ricevere ampia attenzione e ricerca approfondita. Le direzioni di sviluppo futuro includono l'ulteriore ottimizzazione della struttura del campo termico e del sistema di controllo per migliorare l'efficienza produttiva e la qualità del singolo cristallo; esplorare nuovi materiali e tecnologie di lavorazione per migliorare la stabilità e la durata delle apparecchiature; e l'integrazione della tecnologia intelligente per ottenere il controllo automatico e il monitoraggio remoto delle apparecchiature.