Novità del settore

La ceramica SIC è un materiale ceramico prodotto dalla reazione di elementi di silicio (SI) e carbonio (c), con durezza estremamente elevata, resistenza al calore e stabilità chimica

Nel mondo ad alto contenuto di poste di fabbricazione di semiconduttori, la precisione e la stabilità sono tutto-ed è qui che entra il mandrino elettrostatico (ESC). Molto più di un semplice strumento di detenzione, l'ESC utilizza forze elettrostatiche per bloccare saldamente i wafer durante i processi critici come l'incisione, la deposizione e l'impianto di ioni. Ma come funziona davvero? Perché è superiore al tradizionale serraggio meccanico? E che ruolo svolge nel raggiungimento della precisione nanoscala e dell'efficienza del throughput? Benvenuti a Read.

Il principio di Decock del Chuck elettrostatico è una parte fondamentale del suo flusso di lavoro che coinvolge l'eliminazione della forza elettrostatica e i meccanismi di rilascio del wafer.