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La barca al quarzo è un componente portante portante utilizzato nel processo di produzione dei semiconduttori. È utilizzato principalmente per l'elaborazione ad alta temperatura di wafer, come diffusione, ossidazione e ricottura. La sua eccellente stabilità termica, basse caratteristiche di inquinamento e resistenza alla corrosione lo rendono un materiale indispensabile nel settore dei semiconduttori. Questo articolo approfondirà il materiale, le proprietà fisiche, la classificazione, gli scenari di applicazione della barca al quarzo e le sue differenze dalla barca grafite PECVD.

Il materiale principale della barca di grafite PECVD è il materiale di grafite isotropico di alta purezza (la purezza è generalmente ≥99,999%), che ha un'eccellente conducibilità elettrica, conducibilità termica e densità. Rispetto alle normali barche di grafite, le barche di grafite PECVD hanno molti vantaggi di proprietà fisica e chimica e sono utilizzate principalmente nelle industrie semiconduttori e fotovoltaiche, specialmente nei processi PECVD e CVD.

I vassoi di grafite MOCVD svolgono un ruolo importante nel processo epitassiale. Questo articolo effettua un'analisi dettagliata sulla selezione di vassoi di grafite MOCVD dalle prospettive delle proprietà dei materiali e degli scenari di applicazione.