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Questo articolo analizza i motivi per cui il rivestimento SIC un materiale chiave chiave per la crescita epitassiale SIC e si concentra sui vantaggi specifici del rivestimento SIC nel settore dei semiconduttori.

I nanomateriali in carburo di silicio (SIC) sono materiali con almeno una dimensione su scala nanometrica (1-100nm). Questi materiali possono essere zero, uno, due o tridimensionali e hanno diverse applicazioni.

CVD SIC è un materiale in carburo di silicio di alta purezza prodotto dalla deposizione di vapore chimico. Viene utilizzato principalmente per vari componenti e rivestimenti nelle apparecchiature di elaborazione dei semiconduttori. Il seguente contenuto è un'introduzione alla classificazione del prodotto e alle funzioni di base di CVD SIC