Notizia

Scopri come gli anelli di grafite rivestiti in carbonio pirolitico (PyC) VETEK migliorano la stabilità termica, riducono la contaminazione e prolungano la durata dei componenti nei processi di crescita dei cristalli SiC, epitassia, CVD e semiconduttori ad alta temperatura.

Scopri come il rivestimento CVD TaC migliora la crescita dei cristalli SiC e la produzione di semiconduttori con stabilità termica ultraelevata, resistenza alla corrosione, soppressione delle impurità e prestazioni superiori nelle applicazioni MOCVD ed epitassia.

Dai un'occhiata ai componenti chiave di Aixtron G10 per i sistemi di epitassia SiC ad alta temperatura. Parleremo di parti in grafite rivestite SiC CVD, componenti di rivestimento TaC e strutture di campo termico e di come contribuiscono alla stabilità del processo, al controllo della purezza e alla resa dei wafer nella produzione avanzata di semiconduttori.