Che cos'è un Chuck elettrostatico (ESC)?

Il Chuck elettrostatico (ESC), noto anche come Chuck elettrostatico (ESC, E-Chuck), è un dispositivo che utilizza il principio di adsorbimento elettrostatico per trattenere e riparare il materiale adsorbito. È adatto per ambienti a vuoto e plasma. La sua funzione principale è adsorb ultra-Pulisci fogli sottili (come i wafer di silicio) e mantenere il materiale adsorbito in una buona piattaforma, che può anche inibire la deformazione del materiale adsorbito durante il processo e può regolare la temperatura dell'adsorbato.

Un chuck elettrostatico (ESC) è un tipo speciale di mandrino che utilizza forza elettrostatica per tenere, premere e raccogliere oggetti (pezzi). Qualsiasi materiale comporta cariche positive e negative che sono invisibili a occhio nudo. Quando il materiale viene posizionato sull'ESC e una tensione bipolare viene applicata agli elettrodi interni dell'ESC, le cariche positive e negative si sposteranno all'interno del materiale per abbinare la polarità degli elettrodi interni dell'ESC. Questa attrazione tra ESC e il materiale è chiamata forza elettrostatica ed è anche il principio fondamentale dietro i nostri Chucks.

Vantaggi del prodotto

Ha un ampio intervallo di temperatura operativa (da -50 a 700 ℃)

Queste ventose elettrostatiche presentano un'eccellente resistenza, conducibilità termica e resistenza alle shock termiche e possono adattarsi a un ampio intervallo di temperatura attraverso il controllo proprietario del volume ceramico di NGK.

Elevata resistenza alla corrosione

Queste ventose elettrostatiche hanno un'eccellente resistenza alla corrosione ai gas alogeni.

Elaborazione a bassa particella

Il trattamento a bassa particella può essere ottenuto attraverso il trattamento superficiale e la pulizia speciale

Elevata purezza

Sono inoltre disponibili prodotti con una purezza del 99,9% o superiore.

Funzione di riscaldamento

La tecnologia di incorporamento dell'elemento di riscaldamento ad alta precisione può essere integrata con la funzione del riscaldatore e la temperatura del wafer può essere controllata entro ± 1%.

Funzione di raffreddamento

Queste ventose elettrostatiche hanno prestazioni di raffreddamento estremamente elevate legando piastre in ceramica con alta conducibilità termica e piastre di raffreddamento.

Elettrodo a radiofrequenza

Gli elettrodi in metallo alla rinfusa possono fornire contemporaneamente un blocco di wafer stabile e generazione di plasma a radiofrequenza.

Parametro

1.Nel campo del semiconduttore e della produzione elettronica: durante i processi di produzione di semiconduttori e elettronici, vengono utilizzate tappeti di aspirazione elettrostatica per fissare e gestire wafer di silicio sottili e fragili, wafer, ecc. I suoi vantaggi si trovano in una forte forza di adsorbimento, nessuna stress meccanico e un semplice funzionamento, che improvvisano efficacemente la qualità della produzione e la qualità del prodotto.

2. Industria del vetro e della ceramica: durante i processi di taglio, macinazione e maneggevolezza di vetro e ceramiche, le tappe di aspirazione elettrostatiche possono eseguire operazioni non distruttive su materiali fragili, riducendo la velocità di rottura del prodotto.

3. Fabbricazione di macchinari di precisione e componenti ottici: per macchinari di precisione e componenti ottici, i tappeti di aspirazione elettrostatica possono fornire una forza di adsorbimento stabile, prevenire deformazioni o graffi durante la lavorazione.

4. Linee di produzione automatizzate: nelle linee di produzione automatizzate, i tappelli di aspirazione elettrostatici sono ampiamente utilizzati nel posizionamento, nella manipolazione e nel montaggio delle parti, ecc., Migliorando il grado di automazione ed efficienza della linea di produzione.