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La deposizione di vapore chimico (CVD) nella produzione di semiconduttori viene utilizzata per depositare materiali a pellicola sottile nella camera, tra cui SIO2, SIN, ecc. E i tipi comunemente usati includono PECVD e LPCVD. Regolando la temperatura, la pressione e il tipo di gas di reazione, CVD raggiunge un'elevata purezza, uniformità e buona copertura cinematografica per soddisfare diversi requisiti di processo.

Questo articolo descrive principalmente le ampie prospettive applicative della ceramica al carburo di silicio. Si concentra inoltre sull'analisi delle cause delle crepe da sinterizzazione nelle ceramiche in carburo di silicio e sulle soluzioni corrispondenti.

La tecnologia di attacco nella produzione di semiconduttori incontra spesso problemi come l'effetto di carico, l'effetto della micro-grove e l'effetto di ricarica, che influenzano la qualità del prodotto. Le soluzioni di miglioramento includono l'ottimizzazione della densità del plasma, la regolazione della composizione del gas di reazione, il miglioramento dell'efficienza del sistema del vuoto, la progettazione di un layout di litografia ragionevole e la selezione di materiali di maschera e processo di incisione appropriati.

La sinterizzazione a caldo è il metodo principale per preparare ceramiche SIC ad alte prestazioni. Il processo di sinterizzazione a caldo include: selezione di polvere SIC ad alta purezza, pressatura e modanatura ad alta temperatura e alta pressione e quindi sinterizzazione. Le ceramiche SIC preparate con questo metodo hanno i vantaggi di alta purezza e alta densità e sono ampiamente utilizzate nei dischi di macinazione e nelle apparecchiature per il trattamento del calore per l'elaborazione dei wafer.

I metodi di crescita chiave del silicio in carburo (SIC) includono PVT, TSSG e HTCVD, ciascuno con distinti vantaggi e sfide. Materiali di campo termico a base di carbonio come sistemi di isolamento, crogioli, rivestimenti TAC e grafite porosa migliorano la crescita dei cristalli fornendo stabilità, conducibilità termica e purezza, essenziali per la fabbricazione e l'applicazione precisa di SIC.