Paddle ad alta purezza SIC a sballo

Paddle SIC Cantilever ad alta purezza è un componente chiave utilizzato nelle apparecchiature di elaborazione dei semiconduttori. Il prodotto è realizzato in materiale in carburo di silicio di alta purezza (SIC).  I clienti possono scegliere liberamente materiale SIC sinterizzato o materiale SIC ricristatore. Con l'aiuto delle sue eccellenti caratteristiche di elevata purezza, alta stabilità termica e resistenza alla corrosione, è ampiamente utilizzato in processi come il trasferimento di wafer, il supporto e l'elaborazione ad alta temperatura, fornendo garanzie affidabili per garantire l'accuratezza del processo e la qualità del prodotto.

La paletta SIC Cantilever ad alta purezza svolge i seguenti ruoli specifici nel processo di elaborazione dei semiconduttori:

Trasferimento di wafer: Paddle SIC a sballo SIC ad alta purezza viene solitamente utilizzato come dispositivo di trasferimento di wafer in forni di diffusione o ossidazione ad alta temperatura. La sua alta durezza lo rende resistente all'usura e non facile da deformare durante l'uso a lungo termine e può garantire che il wafer rimanga posizionato accuratamente durante il processo di trasferimento. Combinato con la sua resistenza ad alta temperatura e corrosione, può trasferire in sicurezza i wafer dentro e fuori dal tubo del forno in ambienti ad alta temperatura senza causare alcuna contaminazione o danno ai wafer.

Supporto del wafer: Il materiale SIC ha un basso coefficiente di espansione termica, il che significa che la sua dimensione cambia meno quando la temperatura cambia, il che aiuta a mantenere un controllo preciso nel processo. Nei processi di deposizione di vapore chimico (CVD) o deposizione di vapore fisico (PVD), la paletta SIC a sbalzo viene utilizzata per supportare e riparare il wafer per garantire che il wafer rimanga stabile e piatto durante il processo di deposizione, migliorando così l'uniformità e la qualità del film.

Applicazione di processi ad alta temperatura: La paletta SIC a sballo ha un'eccellente stabilità termica e può resistere a temperature fino a 1600 ° C. Pertanto, questo prodotto è ampiamente utilizzato in ricottura ad alta temperatura, ossidazione, diffusione e altri processi.

Proprietà fisiche di base dell'alta purezza SIC Castilever Paddle:

Paddle ad alta purezza SIC a sballonegozi:

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore: