Come scegliere il vassoio di grafite MOCVD?

Domanda 1: cos'è il vassoio di grafite MOCVD e perché è così importante per il processo epitassiale?

La piastra di grafite di grafite di vapore chimico organico metallo-organico (MOCVD), nota anche come vassoio di grafite MOCVD o suscettore di grafite MOCVD, è un componente di alta purezza utilizzato per fissare wafer a semiconduttori durante la crescita epitassiale. Nel processo epitassiale, funge da elemento di riscaldamento e garantisce una distribuzione uniforme della temperatura, che svolge un ruolo insostituibile nel depositare film sottili in applicazioni come dispositivi a semiconduttore avanzato, produzione a LED e celle solari.

Il vassoio di grafite può resistere a temperature estreme (fino a 1.800 ° C) e ambienti di gas corrosivi, rendendolo un materiale indispensabile per sistemi MOCVD ad alta temperatura, resistenti alla corrosione. Le sue prestazioni influiscono direttamente sulla coerenza del processo e sulla resa del wafer.

Domanda 2: quali proprietà del materiale dovrebbero essere prioritarie quando si selezionano i vassoi di grafite MOCVD?

La selezione della piastra di grafite giusta richiede la valutazione delle sue proprietà fisiche e chimiche:

● Elevata purezza (oltre il 99,999%):

In genere, impurità come metalli o cenere possono contaminare il processo epitassiale. La scelta di un fornitore di suscettori di grafite ad alta purezza come Veteksemicon garantisce difetti minimi nell'epilayer a semiconduttore.

●  Eccellente stabilità termica:

Durante l'elaborazione effettiva, le piastre di grafite devono essere in grado di resistere a determinati shock termici e mantenere l'integrità strutturale in cicli di temperatura rapidi. La grafite ad alta densità di Veteksemicon garantisce una distribuzione uniforme del calore, che è fondamentale per la crescita uniforme del film.

●  Eccellente resistenza alla corrosione:

Nell'ambiente di processo MOCVD, la grafite è generalmente esposta a gas corrosivi (ad es. Ammoniaca, idrogeno). Le piastre di grafite MOCVD resistenti alla corrosione ad alta temperatura con struttura a grana fine minimizzano la corrosione ed estendono la durata di servizio.

●  Resistenza meccanica ad alte prestazioni:

Nel processo epitassiale, i vassoi di grafite MOCVD devono supportare più wafer senza deformarsi. Secondo le statistiche di Veteksemicon nell'elaborazione effettiva, la resistenza di flessione della piastra di grafite deve essere ≥50 MPa per prevenire il cracking del vassoio.

Q3: In che modo lo scenario dell'applicazione influisce sulla selezione dei vassoi di grafite MOCVD?

Diversi processi MOCVD richiedono progetti di piastre di grafite su misura:

●  Crescita epitassiale di LED/Fotonics:

Le piastre di grafite MOCVD ultra liscia vengono utilizzate nel processo di epitassia per ridurre la generazione di particelle e garantire strati privi di difetti.

Ad esempio, le piastre di grafite MOCVD di Veteksemicon (o piastre di grafite Veteksemicon per MOCVD) sono progettate per l'epitassia GAN e GAAS e forniscono una gestione termica ottimizzata.

●  Produzione di semiconduttori di potenza:

In combinazione con le statistiche sperimentali di Semikera Semiconductor, le piastre con una maggiore resistenza all'ossidazione sono generalmente preferite per i processi di carburo di silicio (SIC) o nitruro di gallio (GAN).

●  Produzione ad alto rendimento:

I vassoi multi-wafer richiedono un'elaborazione precisa per allinearsi con la progettazione del reattore. I vassoi di grafite MOCVD personalizzabili da fornitori affidabili Semikera Semiconductor possono abbinare configurazioni specifiche dello strumento.

Q4: Quali sono le considerazioni chiave per trovare un fornitore affidabile della piastra di grafite MOCVD?

●  Certificazione e test:

Verificare che il fornitore fornisca la certificazione dei materiali (ad es. Rapporto di purezza, test di densità) e fornisca un trattamento superficiale post-elaborazione (ad es. Rivestimento per ridurre la porosità). Come principale produttore di attrezzature per semiconduttori cinesi e apparecchiature di processo epitassiale, le piastre di grafite MOCVD di Veteksemicon sono state certificate dai dipartimenti governativi per rigorosi esperimenti di limite e i risultati dei test di purezza e densità dei suoi prodotti sono molto più avanti rispetto ai suoi coetanei.

●  Capacità di personalizzazione:

I migliori fornitori di suscettori di grafite ad alta purezza dovrebbero personalizzare le dimensioni, il modello di fori e il rivestimento per soddisfare i requisiti del reattore. Sia Veteksemicon che Semikera Semiconductor hanno le capacità del servizio di personalizzazione di prodotti e tecnologie correlati e sono pienamente in grado di soddisfare le varie esigenze personalizzate.

●  Durata della vita ed efficienza dei costi:

Mentre la grafite più economica può risparmiare costi iniziali, le piastre di grafite inferiori porteranno a frequenti tempi di sostituzione e inadempienze, influiscono seriamente sulla normale efficienza di produzione. La scelta di piastre di grafite Veteksemicon e altri prodotti di qualità consentirà alla tua azienda di ottenere una produzione affidabile a lungo termine.

Q5: Come estendere la durata di servizio dei vassoi di grafite MOCVD?

●  Prevenire l'ossidazione: Utilizzare lo spurgo del gas inerte durante i cicli di riscaldamento/raffreddamento.

●  Pulire regolarmente: Utilizzare metodi non abrasivi (come l'attacco a secco) per rimuovere i residui depositati.

●  Evita lo stress meccanico: Gestisci attentamente il vassoio durante il caricamento/scarico del wafer.

Il miglior consiglio di Veteksemicon per te:

Per le piastre di grafite MOCVD che sono resistenti alla corrosione ad alta temperatura, dare priorità ai fornitori con competenza in materiali di livello semiconduttore.

Test campioni in condizioni di processo effettive per verificare le prestazioni.

Esplora i rivestimenti avanzati (come il rivestimento SIC, il rivestimento TAC) per migliorare la durata e l'affidabilità in ambienti estremi.

Per ulteriori informazioni sulla piastra di grafite MOCVD per rivestimento SIC, fare clic qui.

Per ulteriori informazioni sulla piastra di grafite MOCVD per rivestimento TAC, fare clic qui.