Suscettore MOCVD con rivestimento TaC

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L'epitassia a LED affronta sfide come il controllo della qualità dei cristalli, la selezione dei materiali e la corrispondenza, la progettazione e l'ottimizzazione strutturale, il controllo del processo e la coerenza e l'efficienza dell'estrazione della luce. La scelta del materiale di trasporto di wafer di epitassia giusta è cruciale e il rivestimento con carburo di tantalum (TAC) sottile (rivestimento TAC) offre ulteriori vantaggi.

Quando si seleziona un materiale di supporto per wafer epitassiale, è necessario considerare diversi fattori chiave:

● Tolleranza alla temperatura e stabilità chimica: I processi di epitassia a LED comportano temperature elevate e possono comportare l'uso di sostanze chimiche. Pertanto, è necessario scegliere materiali con buona tolleranza alla temperatura e stabilità chimica per garantire la stabilità del vettore in ambienti ad alta temperatura e chimica.

● Piattenezza superficiale e resistenza all'usura: La superficie del supporto del wafer epitassiale deve avere una buona planarità per garantire un contatto uniforme e una crescita stabile del wafer epitassiale. Inoltre, la resistenza all'usura è importante per prevenire danni superficiali e abrasioni.

● Conducibilità termica: Scegliere un materiale con una buona conduttività termica aiuta a dissipare il calore in modo efficace, mantenendo una temperatura di crescita stabile per lo strato di epitassia e migliorando la stabilità e la coerenza del processo.

A questo proposito, il rivestimento del supporto del wafer epitassiale con TaC offre i seguenti vantaggi:

● Stabilità alle alte temperature: Il rivestimento TaC mostra un'eccellente stabilità alle alte temperature, consentendogli di mantenere la sua struttura e le sue prestazioni durante i processi di epitassia ad alta temperatura e fornendo una tolleranza alla temperatura superiore.

● Stabilità chimica: Il rivestimento TAC è resistente alla corrosione da sostanze chimiche e atmosfere comuni, proteggendo il vettore dal degrado chimico e migliorando la sua durata.

● Durezza e resistenza all'usura: Il rivestimento TaC possiede un'elevata durezza e resistenza all'usura, rafforzando la superficie del supporto del wafer epitassiale, riducendo danni e usura e prolungandone la durata.

● Conducibilità termica: Il rivestimento TaC dimostra una buona conduttività termica, favorendo la dissipazione del calore, mantenendo una temperatura di crescita stabile per lo strato epitassia e migliorando la stabilità e la consistenza del processo.

Pertanto, la scelta di un supporto per wafer epitassia con rivestimento TaC aiuta ad affrontare le sfide dell'epitassia LED, soddisfacendo i requisiti degli ambienti chimici e ad alta temperatura. Questo rivestimento offre vantaggi come stabilità alle alte temperature, stabilità chimica, durezza e resistenza all'usura e conduttività termica, contribuendo a migliorare le prestazioni, la durata e l'efficienza produttiva del supporto del wafer epitassiale.