Dal processo di produzione delle ventose elettrostatiche ai produttori di produzione in serie

Il principio del dechuck delChuck elettrostaticoè una parte fondamentale del suo flusso di lavoro che coinvolge l'eliminazione della forza elettrostatica e i meccanismi di rilascio del wafer. Quella che segue è un'analisi dettagliata:

Il nucleo di Dechuck è di eliminare o neutralizzare la forza elettrostatica adsorbita sul wafer e i metodi specifici includono:

YouDaoplaceholder0 Taglia la potenza

Smetti di applicare una tensione di corrente continua all'elettrodo per eliminare gradualmente il campo elettrico.

Youdaoplaceholder0 Tensione inversa o iniezione di gas ‌

Alcuni sistemi applicheranno la tensione inversa o introduceranno gas inerti (come HE, N₂) per accelerare la neutralizzazione della carica o la separazione fisica.

Confrontiamo le tecniche professionali della produzione ESC e prima vediamo se l'azienda può raggiungere tale scala.

Tecnologia di analisi CAE, materiali funzionali della piastra, progettazione di elettrodi, tecnologia di analisi, tecnologia del canale di raffreddamento, tecnologia di progettazione del riscaldatore, personale senior in apparecchiature a semiconduttore.

Le aziende giapponesi e sudcoreane devono essere pienamente gestite con tale personale pertinente. In caso contrario, non è necessario parlare della tecnologia dell'azienda.

La tecnologia Chuck, gli elettrodi, i dischi e persino il principio del flusso He non sono ancora stati chiariti. Facciamo una mano di aspirazione elettrostatica ruvida. Tali società vengono trasmesse direttamente. Sono fondamentalmente usati per frenare i soldi degli investitori. Questo è il livello di base di Know How. Gli investitori dovrebbero anche rinunciare a un'azienda che gioca con i giochi di carte e non ha dipendenti con oltre 10 anni di esperienza nell'attuale attrezzatura, perché questa non è un'azienda che fa cose pratiche.

Quando si tratta di sparare in polvere nel settore, tutti si trovano nello stesso campo. Ognuno ha la sua formula unica. Quale non ha la forza di essere equipaggiata con superfici ceramiche sinterizzate? Gli investitori possono anche trasmettere queste configurazioni o aziende che non le hanno completamente afferrate, perché la loro logica fondamentale è la stessa: mirano a fare soldi, non a sviluppare prodotti.

Per quanto riguarda la riparazione, molte aziende nazionali dovrebbero avere le corrispondenti capacità da L1 a L3 ormai. Anche se le capacità sono un po 'carenti, L1 può comunque gestirlo. Per L3 e oltre, non può essere riparato o può essere subappaltato. In ogni caso, c'è ancora un modo per ripararlo.

RIPARAZIONE L1 Riparazione della superficie, miglioramento della rugosità superficiale/miglioramento della piattalità/rigenerazione del bump.

Riparazione L2: riparazione dello strato articolare, ribonamento della base metallica e disco ceramico/ripiegamento dello strato articolare.

Sostituzione del disco in ceramica di riparazione L3, produzione/ribonding del disco ceramico di base in metallo e disco ceramico.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

La società ricopre una posizione di leader nella progettazione e nella produzione di Chucks e attrezzature elettrostatici domestici basati su mandrini elettrostatici come tecnologia di base. Al momento, Haituo Innovation ha raggiunto la produzione commerciale di tappeti di aspirazione elettrostatica e ha completato la consegna di man Chucks elettrostatici a semiconduttore da 4 pollici a 12 pollici.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Le ventose elettrostatiche sviluppate indipendentemente dalla società rispettano gli standard e la lavorazione pertinentiRequisiti del settore dei semiconduttori. Le aspirazioni elettrostatiche a nitruro in alluminio PVD da 12 pollici sviluppate nella fase iniziale hanno, in una certa misura, spezzate il monopolio a lungo termine dei produttori stranieri in questo campo di prodotto. Allo stato attuale, Huazhuo Jingke ha applicato la tecnologia correlata delle ventose elettrostatiche alla produzione di prodotti e ha raggiunto la produzione di massa su piccola scala. Può anche fornire prodotti personalizzati per i clienti.

Fondato nel 2016, è un fornitore leader di materiali di rivestimento avanzato per l'industria dei semiconduttori. Il nostro fondatore, ex esperto dell'Istituto di materiali della Cinese Academy of Sciences, ha fondato la società con particolare attenzione allo sviluppo di soluzioni all'avanguardia per l'industria.

Le nostre principali offerte di prodotti includono rivestimenti in carburo di silicio CVD (SIC), rivestimenti in carburo di Tantalum (TAC), SIC alla rinfusa, polveri SIC e materiali SIC di alta purezza. I prodotti principali sono il suscettore di grafite con rivestimento SIC, gli anelli di preriscaldamento, l'anello di diversione rivestito TAC, le parti di mezzamoia, ecc., La purezza è inferiore alle 17pm, può soddisfare le esigenze dei clienti.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

I prodotti per la mano di aspirazione elettrostatica sviluppati hanno indicatori di prestazione in grado di soddisfare le esigenze delle imprese di produzione di chip. Presentano proprietà eccezionali come temperatura controllabile, forza di adsorbimento uniforme, nessun graffio o rughe durante l'adsorbimento e nessun effetto di esclusione del bordo sui wafer. Sono stati certificati dalle principali imprese del settore dei semiconduttori nazionali come Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics e North China Innovation e hanno raggiunto vendite. Ha rotto il monopolio dei produttori stranieri in questo campo di prodotto.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

Nel 2022, la società fece mosse strategiche nel campo dei componenti ceramici di precisione, raggiungendo la localizzazione di parti di precisione altamente tecniche come piastre di riscaldamento e manichini elettrostatici. Gli indicatori tecnici fondamentali delle piastre di riscaldamento in ceramica sviluppate da Zhongci Electronics hanno raggiunto il livello di prodotti internazionali simili e sono stati verificati dagli utenti. Sono stati applicati in lotti in attrezzature a semiconduttore domestica chiave. Le piastre di riscaldamento in ceramica sono state erogate alla rinfusa e i manichini elettrostatici sono stati inviati per test di campionamento.