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La struttura porosa della grafite
La grafite porosa è un prodotto a struttura porosa realizzata in grafite come materiale di base. Il suo materiale è realizzato in grafite di alta purezza. I parametri fisici della grafite porosa a semiconduttore Vetek variano in base al processo di produzione e all'applicazione specifica. I seguenti sono parametri fisici comuni:
Proprietà fisiche tipiche digrafite porosa |
|
ltem |
Parametro |
Densità di massa |
0,89 g/cm2 |
Resistenza a compressione |
8.27 MPA |
Piegare la forza |
8.27 MPA |
Resistenza alla trazione |
1,72 MPA |
Resistenza specifica |
130Ω-INX10-5 |
Porosità |
50% |
Dimensione media dei pori |
70um |
Conducibilità termica |
12w/m*k |
Grafite porosa is made of high-purity graphite and has excellent electrical conductivity, thermal conductivity, high temperature resistance, oxidation resistance, chemical stability and other characteristics. It is widely used in the semiconductor processing industry.
Nel processo di elaborazione dei semiconduttori, la grafite porosa è ampiamente utilizzata nei seguenti aspetti:
In combinazione con l'eccellente resistenza e la stabilità chimica della grafite porosa come una buona resistenza alla corrosione alla maggior parte dei prodotti chimici come acidi, alcali e solventi, la grafite porosa viene spesso utilizzata nelle apparecchiature di sinterizzazione e trattamento termico ad alta temperatura. Ad esempio, la grafite porosa può essere utilizzata come rivestimento, materiale isolante o materiale di supporto per forni ad alta temperatura.
Inoltre, il componente di grafite poroso ha un'eccellente conduttività elettrica e stabilità termica per fornire un campo termico uniforme e proprietà elettriche stabili. Pertanto, questo prodotto viene spesso utilizzato inProcesso di diffusione o ossidazionedell'elaborazione dei semiconduttori come sorgente di diffusione o materiale elettrodo.
La struttura porosa di grafite porosa può filtrare e purificare i gas utilizzati nella lavorazione dei semiconduttori, ridurre la possibile contaminazione da particelle e garantire un'elevata pulizia durante la lavorazione. Con la sua struttura porosa e una buona permeabilità all'aria, le parti di grafite porose possono anche essere utilizzate come base e dispositivo in un sistema di adsorbimento del vuoto per fissare wafer o altri componenti attraverso un efficiente adsorbimento del vuoto.
Regolando il processo di sinterizzazione della grafite, Vetek Semiconductor puòPersonalizza i materiali di grafite porosi con diverse dimensioni e porosità dei pori per soddisfare diversi requisiti di applicazione.
Grafite porosa Sic Crystal Growth poroso grafite Crogiole di grafite a tre petali
In effetti, Vetek Semiconductor ha una posizione di leader di mercato assoluta nel mercato dei suscettori della grafite con rivestimento SIC cinese, nel mercato dei vassoi di grafite con rivestimento in carburo di silicio rivestito in carburo TAC. Vetek Semiconductor è un produttore cinese professionista, fornitore, fabbrica di speciali prodotti di grafite , comeSic Crystal Growth poroso grafite, Rivestimento in carbonio pirolitico, Rivestimento in carbonio vitreo, Grafite isotropica, Grafite siliconizzataEFoglio di grafite ad alta purezza. Ci impegniamo a fornire soluzioni avanzate per vari prodotti speciali di grafite per l'industria dei semiconduttori.
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