Cos'è la grafite porosa? - Semiconduttore VeTek

Grafite porosaè un materiale in carbonio ingegnerizzato contenente una rete di pori all'interno della sua struttura in grafite. Le sue caratteristiche principali includono porosità, distribuzione delle dimensioni dei pori, permeabilità, densità apparente e proprietà termiche. Nella produzione di semiconduttori, componenti selezionati di grafite porosa ad elevata purezza vengono utilizzati nei sistemi di crescita dei cristalli di trasporto fisico del vapore (PVT) di carburo di silicio (SiC) per supportare specifiche funzioni di trasporto di gas e di campo termico. Le prestazioni del materiale dipendono dal grado di grafite, dalla struttura dei pori, dalla purezza e dalle condizioni operative.

La struttura porosa della grafite

La grafite porosa è un prodotto con struttura porosa costituito da grafite come materiale di base. Il suo materiale è realizzato in grafite di elevata purezza. I parametri fisici della grafite porosa VeTek Semiconductor variano in base al processo di produzione e all'applicazione specifica. I seguenti sono parametri fisici comuni:

La grafite porosa è realizzata in grafite di elevata purezza e presenta un'eccellente conduttività elettrica, conduttività termica, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, stabilità chimica e altre caratteristiche. È ampiamente utilizzato nell'industria della lavorazione dei semiconduttori.

Nel processo di lavorazione dei semiconduttori, la grafite porosa è ampiamente utilizzata nei seguenti aspetti:

Combinata con l'eccellente resistenza alle alte temperature e stabilità chimica della grafite porosa, come la buona resistenza alla corrosione alla maggior parte delle sostanze chimiche come acidi, alcali e solventi, la grafite porosa viene spesso utilizzata nelle apparecchiature di sinterizzazione e trattamento termico ad alta temperatura. Ad esempio, la grafite porosa può essere utilizzata come rivestimento, materiale isolante o materiale di supporto per forni ad alta temperatura.

Inoltre,

Componente di grafite porosa per la crescita dei cristalli SiCha un'eccellente conduttività elettrica e stabilità termica per fornire un campo termico uniforme e proprietà elettriche stabili. Pertanto, questo prodotto viene spesso utilizzato nel processo di diffusione o ossidazione della lavorazione dei semiconduttori come sorgente di diffusione o materiale per elettrodi.

Porosa La struttura porosa della grafite può filtrare e purificare i gas utilizzati nella lavorazione dei semiconduttori, ridurre la possibile contaminazione da particelle e garantire un'elevata pulizia durante la lavorazione. Grazie alla struttura porosa e alla buona permeabilità all'aria, le parti in grafite porosa possono essere utilizzate anche come base e dispositivo di fissaggio in un sistema di adsorbimento sotto vuoto per fissare wafer o altri componenti attraverso un efficiente adsorbimento sotto vuoto.

Regolando il processo di sinterizzazione della grafite, VeTek Semiconductor puòpersonalizzare materiali in grafite porosa con diverse dimensioni dei pori e porosità per soddisfare diversi requisiti applicativi.

                                                                                                  Grafite porosa                 Grafite porosa per la crescita dei cristalli SiC           Crogiolo di grafite a tre petali

In effetti, VeTek Semiconductor ha una posizione di leadership assoluta nel mercato cinese dei suscettori di grafite con rivestimento sic, nel mercato dei crogioli di grafite con rivestimento tac e nel mercato dei vassoi di grafite rivestiti in carburo di silicio. VeTek Semiconductor è un produttore, fornitore e fabbrica cinese professionale di prodotti speciali in grafite, come ad esempioGrafite porosa per la crescita dei cristalli SiC, Rivestimento in carbonio pirolitico, Rivestimento in carbonio vetroso, Grafite isotropa, Grafite siliconataEFoglio di grafite ad alta purezza. ci impegniamo a fornire soluzioni avanzate per vari prodotti speciali in grafite per l'industria dei semiconduttori.

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