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Nella preparazione di substrati in carburo di silicio di alta qualità e ad alto rendimento, il nucleo richiede un controllo preciso della temperatura di produzione da parte di buoni materiali del campo termico. Attualmente, i kit di crogioli del campo termico principalmente utilizzati sono componenti strutturali di grafite di alta purezza, le cui funzioni sono di riscaldare la polvere di carbonio fuso e la polvere di silicio e mantenere il calore.

Quando vedi i semiconduttori di terza generazione, ti chiederai sicuramente quali fossero la prima e la seconda generazione. La "generazione" qui è classificata in base ai materiali utilizzati nella produzione di semiconduttori.

Il Chuck elettrostatico (ESC), noto anche come Chuck elettrostatico (ESC, E-Chuck), è un dispositivo che utilizza il principio di adsorbimento elettrostatico per trattenere e riparare il materiale adsorbito. È adatto per ambienti a vuoto e plasma.