Servizi e risorse

Ottimizzazione e produzione di massa

La sfida più grande nella transizione graduale dall’introduzione di nuovi prodotti (NPI) alla produzione ad alto volume (HVM) è la coerenza. Attraverso il blocco del processo, il controllo statistico del processo SPC e la diagnosi approfondita delle parti restituite sul campo, garantiamo che il millesimo prodotto sia indistinguibile in termini di qualità dal primo campione.

Sistema di garanzia della produzione di massa:

  • Capacità di produzione CVD di grande capacità e campo termico uniforme:Reattori CVD multipli di grandi dimensioni e multizona ad elevata purezza consentono una deposizione efficiente su substrati di grafite di grandi dimensioni, garantendo una consistenza estremamente elevata dei campi termici e di flusso durante la produzione in lotti.
  • Controllo rigoroso "Copia esatta":Dopo la convalida della produzione di massa, i lotti delle materie prime di grafite, i percorsi di lavorazione CNC, la purezza del gas di reazione CVD, le curve di rampa della temperatura del forno e la pressione della camera vengono bloccati, riducendo al minimo la variazione da lotto a lotto.
  • Controllo statistico del processo SPC:Monitoraggio dell'intero processo di parametri critici come la distribuzione dello spessore del film, la ruvidità superficiale e la resistività durante la produzione in serie, portando i parametri fondamentali verso una convergenza stabile con piena tracciabilità dei dati.
  • Diagnosi approfondita delle parti restituite sul campo:Collaborare con i clienti per eseguire diagnosi microscopiche (analisi SEM + sezione trasversale) di parti restituite da condizioni operative estreme, individuando con precisione i punti di usura locale e di concentrazione delle sollecitazioni.
  • Ottimizzazione dinamica della struttura e delle ricette di processo:Sulla base dei dati reali sull'usura della camera, è possibile ottimizzare in modo inverso la geometria dei componenti e i parametri del processo di deposizione per prolungare la durata dei lotti successivi dalla fonte, formando un ciclo virtuoso.

Caso reale e vantaggi per il cliente (esperienza):

Un produttore leader di celle fotovoltaiche TOPCon:Durante l'introduzione iniziale, gli accessori per barche in grafite hanno mostrato variazioni di spessore della pellicola (±15%) tra i lotti, influenzando l'uniformità del rivestimento. Abbiamo avviato il monitoraggio dell'SPC dell'intero processo e bloccato tre parametri critici del processo (temperatura di deposizione, portata del gas, pressione della camera).Entro 3 settimane, la variazione dell'uniformità dello spessore della pellicola è stata ridotta da ±15% a ±3%.La linea è stata ora fornita stabilmente per oltre 200 lotti, con un tasso di passaggio dei lotti costantemente superiore al 99,2%, aiutando il cliente a ridurre il tasso di rottura dei wafer dell'1,5%.

SPC process control chart

Domande frequenti

1. D: Come dovrei scegliere tra il rivestimento CVD SiC e il rivestimento CVD TaC?

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UN:Osserva la temperatura del processo e l'intensità della corrosione in fase gassosa. Se la temperatura del processo è inferiore a 1000 °C e prevede principalmente l'attacco a base di Cl₂/F₂ o l'epitassia convenzionale, scegliereCVD SiCper il miglior rapporto costo-prestazioni; se la temperatura del processo supera i 1200 °C e prevede atmosfere fortemente corrosive (es. crescita di monocristallini SiC PVT), si consigliaCVD TaC, che offre una resistenza superiore alla temperatura e alla corrosione. Possiamo fornire un rapporto gratuito sulle raccomandazioni di selezione in base ai parametri di processo specifici.

2. D: Supportate la prototipazione di pezzi singoli/piccoli lotti? Qual è il tempo di consegna?

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UN:SÌ! Per i prototipi di reverse engineering,MOQ è 1 pezzo. Per le parti semplici convenzionali, dal ricevimento del campione alla consegna della parte mappata, il tempo di consegna più rapido è approssimativo10-15 giorni lavorativi; per le parti che implicano processi di rivestimento complessi è approssimativamente20–25 giorni lavorativi. Contatta i nostri ingegneri per una valutazione rapida.

3. D: Cosa causa la delaminazione del rivestimento CVD sulle parti in grafite durante l'uso? Può essere risolto?

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UN:Il 90% dei casi di delaminazione è causato dalla mancata corrispondenza tra il coefficiente di espansione termica (CTE) del substrato di grafite e del rivestimento, che porta alla sfaldamento per fatica in caso di riscaldamento/raffreddamento rapido. La nostra soluzione: misurare innanzitutto con precisione la curva CTE della parte originale, quindi regolare in modo specifico la densità del substrato e il gradiente della temperatura di deposizione in modo che i due CTE siano perfettamente abbinati. La forza del legame può essere migliorata oltre1,5 voltelivello convenzionale del settore.

4. D: Potete fornire un CoA (Certificato di Analisi) per i prodotti? Quali dati include?

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UN:Ogni prodotto spedito viene fornito di serie con anumero di serie univoco + rapporto CoA completo. Il rapporto include: dati di ispezione CMM di dimensione critica, mappa di distribuzione dello spessore del rivestimento multipunto, valori di rugosità superficiale (Ra) e conclusioni dell'analisi di purezza del materiale (GDMS).

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Telefono: +86-18069220752(Tina);+86-15988690905(Sera)

E-mail: anny@veteksemi.com

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