Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

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Parte Halfmoon da 8 pollici per reattore LPE

Vetek Semiconductor è uno dei principali produttori di attrezzature per semiconduttori in Cina, incentrato sulla ricerca e sviluppo e sulla produzione di parte di mezzamoia da 8 pollici per il reattore LPE. Nel corso degli anni abbiamo accumulato una ricca esperienza, in particolare nei materiali di rivestimento SIC, e ci impegniamo a fornire soluzioni efficienti su misura per i reattori epitassiali LPE. La nostra parte di mezzalmo da 8 pollici per il reattore LPE ha prestazioni e compatibilità eccellenti ed è un componente chiave indispensabile nella produzione epitassiale. Accendi la tua richiesta per saperne di più sui nostri prodotti.

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Suscettore pancake rivestito in SiC per wafer LPE PE3061S da 6 pollici

Il suscettore pancake rivestito in SiC per wafer LPE PE3061S da 6'' è uno dei componenti principali utilizzati nell'elaborazione dei wafer epitassiali di wafer da 6''. VeTek Semiconductor è attualmente un produttore e fornitore leader di suscettori pancake rivestiti in SiC per wafer LPE PE3061S da 6'' in Cina. Il suscettore per pancake rivestito in SiC che fornisce ha caratteristiche eccellenti come elevata resistenza alla corrosione, buona conduttività termica e buona uniformità. In attesa della tua richiesta.

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Supporto rivestito SIC per LPE PE2061S

Vetek Semiconductor è un produttore leader e fornitore di componenti di grafite rivestiti in Cina. Il supporto rivestito SIC per LPE PE2061S è adatto al reattore epitassiale al silicio LPE. Mentre il fondo della base a canna, il supporto rivestito SIC per LPE PE2061 può resistere a temperature elevate di 1600 gradi Celsius, raggiungendo così la vita di prodotti ultra-lunghi e riducendo i costi dei clienti. In attesa della tua richiesta e ulteriore comunicazione.

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Piastra superiore rivenata SIC per LPE PE2061S

VeTek Semiconductor è da molti anni profondamente impegnata nei prodotti di rivestimento SiC ed è diventato un produttore e fornitore leader di piastre superiori rivestite in SiC per LPE PE2061S in Cina. La piastra superiore rivestita in SiC per LPE PE2061S che forniamo è progettata per reattori epitassiali in silicio LPE e si trova sulla parte superiore insieme alla base del cilindro. Questa piastra superiore rivestita in SiC per LPE PE2061S presenta caratteristiche eccellenti come elevata purezza, eccellente stabilità termica e uniformità, che aiutano a far crescere strati epitassiali di alta qualità. Non importa il prodotto di cui hai bisogno, attendiamo con ansia la tua richiesta.

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Suscettore a botte rivestito SIC per LPE PE2061S

Come uno dei principali impianti di produzione di suscettori di wafer in Cina, Vetek Semiconductor ha fatto continui progressi nei prodotti del suscettore del wafer ed è diventato la prima scelta per molti produttori di wafer epitassiali. Il suscettore a canna rivestito SIC per LPE PE2061s fornito da Vetek Semiconductor è progettato per i wafer LPE PE2061S 4 ''. Il suscettore ha un rivestimento in carburo di silicio durevole che migliora le prestazioni e la durata durante il processo LPE (fase liquida). Benvenuti alla tua richiesta, non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine.

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Soffione doccia a gas SiC solido

Solid Sic Dochow Shower Head svolge un ruolo importante nel rendere l'uniforme del gas nel processo CVD, garantendo così il riscaldamento uniforme del substrato. Vetek Semiconductor è stato profondamente coinvolto nel campo di dispositivi SIC solidi per molti anni ed è in grado di fornire ai clienti con soffitti a gas SiC personalizzati. Non importa quali siano i tuoi requisiti, non vediamo l'ora della tua richiesta.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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