Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

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LPE If Epi Supporter Set

Suscettore piatto e suscettore a barilotto sono la forma principale dei suscettori EPI. VETEK Semiconductor è un produttore e innovatore di suscettori epi di LPE di LPE in Cina. Siamo stati specializzati nel rivestimento SIC e il rivestimento TAC per molti anni. Offriamo un susceptor LPE SI EPI LPE SI Set progettato specificamente per i wafer LPE PE2061S 4 ". Il grado di abbinamento di materiale di grafite e il rivestimento SIC è buono, l'uniformità è eccellente e la vita è lunga, il che può migliorare la resa della crescita dello strato epitassiale durante l'LPE (epitassia della fase liquida) Process. Ti diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Suscettori Aixtron G5 Mocvd

Il sistema MOCVD Aixtron G5 è costituito da materiale di grafite, grafite rivestita in carburo di silicio, quarzo, materiale in feltro rigido, ecc. Vetek Semiconductor può personalizzare e produrre interi componenti per questo sistema. Siamo stati specializzati in parti di grafite e quarzo per semiconduttori per molti anni. Questo kit di suscettori MOCVD Aixtron G5 è una soluzione versatile ed efficiente per la produzione di semiconduttori con dimensioni ottimali, compatibilità e alta produttività.

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Suscettore a barilotto in grafite rivestito in SiC per EPI

La base riscaldante per wafer epitassiale del tipo a barile è un prodotto con una tecnologia di lavorazione complicata, che è molto impegnativa per le attrezzature e le capacità di lavorazione. Vetek semiconductor dispone di attrezzature avanzate e di una ricca esperienza nella lavorazione di suscettori di cilindri in grafite rivestiti in SiC per EPI, in grado di fornire la stessa vita di fabbrica originale, cilindri epitassiali più convenienti. Se siete interessati ai nostri dati, non esitate a contattarci.

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Deflettore per crogiolo in grafite rivestito in SiC

Il deflettore del crogiolo di grafite rivestito in SiC è un componente chiave nell'attrezzatura del forno monocristallino, il suo compito è guidare il materiale fuso dal crogiolo alla zona di crescita del cristallo senza intoppi e garantire la qualità e la forma della crescita del singolo cristallo. Il semiconduttore Vetek può fornire materiale di rivestimento sia in grafite che in SiC. Non esitate a contattarci per maggiori dettagli.

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Mocvd Epitaxial Susceptor per 4 "wafer

Il suscettore epitassiale MOCVD per wafer da 4" è progettato per far crescere uno strato epitassiale da 4". VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale, impegnato a fornire suscettore epitassiale MOCVD di alta qualità per wafer da 4". Con materiale in grafite su misura e processo di rivestimento SiC. Siamo in grado di fornire soluzioni competenti ed efficienti ai nostri clienti. Siete invitati a comunicare con noi.

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GAN Supporto di grafite epitassiale per G5

Vetek Semiconductor è un produttore e un fornitore professionista, dedicato a fornire suscettore di grafite epitassiale GAN di alta qualità per G5. Abbiamo istituito partnership a lungo termine e stabili con numerose società famose in patria e all'estero, guadagnando la fiducia e il rispetto dei nostri clienti.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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