Rivestimento in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio di VeTek Semiconductor

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità del rivestimento SiC	3,21 g/cm³
Rivestimento SiCDurezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m^-1·K^-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K^-1

STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Suscettore Epi rivestito in carburo di silicio Supporto per wafer con rivestimento SiC Copertura satellitare rivestita in SiC per MOCVD Suscettore Epi wafer con rivestimento CVD SiC Elemento riscaldante con rivestimento CVD SiC Porta wafer satellitare Aixtron Ricevitore Epi con rivestimento SiC Parti in grafite a mezzaluna con rivestimento in SiC

View as

Mocvd Epitaxial Susceptor per 4 "wafer

Il suscettore epitassiale MOCVD per wafer da 4" è progettato per far crescere uno strato epitassiale da 4". VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale, impegnato a fornire suscettore epitassiale MOCVD di alta qualità per wafer da 4". Con materiale in grafite su misura e processo di rivestimento SiC. Siamo in grado di fornire soluzioni competenti ed efficienti ai nostri clienti. Siete invitati a comunicare con noi.

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GAN Supporto di grafite epitassiale per G5

Vetek Semiconductor è un produttore e un fornitore professionista, dedicato a fornire suscettore di grafite epitassiale GAN di alta qualità per G5. Abbiamo istituito partnership a lungo termine e stabili con numerose società famose in patria e all'estero, guadagnando la fiducia e il rispetto dei nostri clienti.

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Suscettore a semiconduttore Blocco SIC rivestito

Il suscettore a semiconduttore di VETEK SUSCONDUTTOR SIC rivestito è un dispositivo altamente affidabile e durevole. È progettato per resistere a temperature elevate e ambienti chimici duri mantenendo prestazioni stabili e una lunga durata. Con le sue eccellenti capacità di processo, il suscettore a semiconduttore bloccato con rivestimento SIC riduce la frequenza di sostituzione e manutenzione, migliorando così l'efficienza della produzione. Attendiamo con impazienza l'opportunità di collaborare con te. Ben per consultare in qualsiasi momento.

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Suscitatore MOCVD rivestito SIC

Il suscettore MOCVD rivestito SIC di Veteksemicon è un dispositivo con eccellente processo, durata e affidabilità. Possono resistere ad ambienti ad alta temperatura e chimica, mantenere prestazioni stabili e lunga vita, riducendo così la frequenza di sostituzione e manutenzione e migliorando l'efficienza della produzione. Il nostro suscettore epitassiale MOCVD è rinomato per la sua alta densità, l'eccellente planarità e l'eccellente controllo termico, rendendolo l'attrezzatura preferita in ambienti di produzione duri. Non vedo l'ora di cooperare con te. Ben per consultare in qualsiasi momento.

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Corriere di incisione ICP con rivestimento SIC

Veteksemicon SIC ICP Etching Carrier è progettato per le applicazioni di apparecchiature epitassia più esigenti. Realizzato in materiale di grafite ultra-puro di alta qualità, il nostro vettore di incisione ICP rivestito SIC ha una superficie altamente piatta e un'eccellente resistenza alla corrosione per resistere alle difficili condizioni durante la manipolazione. L'elevata conduttività termica del vettore rivestito SIC garantisce una distribuzione di calore persino per eccellenti risultati di incisione.

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Piastra portante di attacco PSS per semiconduttore

La piastra portante di incisione PSS di Vetek Semiconductor per semiconduttore è un vettore di grafite ultra-puro di alta qualità progettato per i processi di gestione dei wafer. I nostri vettori hanno prestazioni eccellenti e possono funzionare bene in ambienti difficili, alte temperature e condizioni di pulizia chimica dure. I nostri prodotti sono ampiamente utilizzati in molti mercati europei e americani e non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina. Sei il benvenuto a venire in Cina per visitare la nostra fabbrica e saperne di più sulla nostra tecnologia e prodotti.

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Come produttore e fornitore professionista Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Sia che tu abbia bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della propria regione o desideri acquistare avanzati e durevoli Rivestimento in carburo di silicio realizzati in Cina, puoi lasciarci un messaggio.

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