Solid Sic Shower Head a forma di disco

Il ruolo del solido soffione a forma di disco SIC nel processo CVD è di distribuire uniformemente il gas di reazione sopra l'area di deposizione in modo che il gas possa essere uniformemente diffuso in tutto il reattore per ottenere un film piatto e uniforme.

Il solido soffione SIC è impostato nella parte superiore del forno CVD o vicino all'ingresso del gas. Il gas di reazione entra nella struttura a forma di disco attraverso i fori distribuiti sulla soffiatura e si diffonde lungo la superficie della soffiatura della doccia. Attraverso la progettazione di canali multipli e le prese distribuite uniformemente, il gas di reazione può fluire uniformemente verso l'intera area del reattore, evitando la concentrazione o la turbolenza e garantendo la consistenza dello spessore dello strato depositato sul substrato.

Allo stesso tempo, la struttura del soffione della doccia a forma di disco semiconduttore ha anche un effetto di diffusione, che può effettivamente ridurre la portata del gas, in modo che possa essere uniformemente diffusa all'uscita dell'ugello e ridurre l'impatto delle variazioni del flusso di gas locale sull'effetto di deposizione. Aiuta a evitare l'impatto del gas diretto sul substrato e prevenire il problema della deposizione irregolare.

Dal punto di vista dei materiali, la soffione a gas SiC solida è realizzata in materiale SIC solido resistente, resistente alla corrosione e ad alta resistenza con stabilità molto elevata. Può funzionare stabilmente per molto tempo nel forno CVD e ha una lunga durata di servizio.

Vetek Semiconductor fornisce servizi personalizzati di alta qualità. Il layout della forma e del foro del soffione a forma di disco SIC solido può essere regolato in modo flessibile in base ai requisiti di processo del cliente per adattarsi a diversi tipi di gas, portate e materiali di deposizione. Per diverse dimensioni di reattori o dimensioni del substrato, possono essere personalizzati i soffitti a forma di disco con diametri e distribuzioni di fori diversi per ottimizzare l'effetto di distribuzione del gas.

Vetek Semiconductor ha processi maturi e tecnologie avanzate per i prodotti a semiconduttore SIC solido, aiutando un gran numero di clienti a ottenere progressi continui nei processi CVD. Vetek Semiconductor non vede l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

Proprietà fisiche di SIC solido

SemiconduttoreSolidi negozi di produzione a forma di doccia a forma di disco SIC