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Anello per bordo SIC solido di deposizione di vapore chimico

Anello per bordo SIC solido di deposizione di vapore chimico

Vetek Semiconductor è sempre stato impegnato nella ricerca, nello sviluppo e nella produzione di materiali a semiconduttore avanzato. Oggi, Vetek Semiconductor ha fatto grandi progressi nei prodotti a base di anelli SIC di deposizione di vapore chimico ed è in grado di fornire ai clienti con anelli di bordo SiC solidi altamente personalizzati. Gli anelli di bordo SIC solido forniscono una migliore uniformità di attacco e un posizionamento preciso del wafer se utilizzati con un mandrino elettrostatico, garantendo risultati di incisione coerenti e affidabili. In attesa della tua richiesta e diventare reciproci partner a lungo termine.

VEtek Semiconductor Chemical Vapor Deposition Process Sic Edge Ring è una soluzione all'avanguardia progettata specificamente per i processi di incisione a secco, offrendo prestazioni e affidabilità superiori. Vorremmo offrirti l'anello del bordo SIC di alta qualità del vapore chimico.

Applicazione:

L'anello del bordo SIC solido di deposizione di vapore chimico viene utilizzato nelle applicazioni di incisione a secco per migliorare il controllo del processo e ottimizzare i risultati dell'attacco. Ha un ruolo cruciale nella direzione e nella confinazione dell'energia plasmatica durante il processo di attacco, garantendo una rimozione precisa e uniforme del materiale. Il nostro anello di messa a fuoco è compatibile con una vasta gamma di sistemi di incisione a secco ed è adatto a vari processi di incisione nei settori.


Confronto dei materiali:


PROCESSO CVD Anello SIC SIC SOLD:


● Materialee: L'anello di messa a fuoco è fabbricato da SIC solido, un materiale ceramico ad alta purezza e ad alte prestazioni. È preparato dalla deposizione di vapore chimico. Il materiale SIC solido offre una durata eccezionale, una resistenza ad alta temperatura e eccellenti proprietà meccaniche.

●  Vantaggi: L'anello SIC CVD offre un'eccezionale stabilità termica, mantenendo la sua integrità strutturale anche in condizioni ad alta temperatura riscontrate nei processi di incisione a secco. La sua elevata durezza garantisce resistenza allo stress e all'usura meccanici, portando a una vasta vita di servizio. Inoltre, il SIC solido presenta inerzia chimica, proteggendola dalla corrosione e mantenendo le sue prestazioni nel tempo.

Chemical Vapor Deposition Process

Rivestimento CVD SIC:


●  Materialee: Il rivestimento SIC CVD è una sottile deposizione di film di SIC utilizzando tecniche di deposizione di vapore chimico (CVD). Il rivestimento viene applicato su un materiale del substrato, come grafite o silicio, per fornire proprietà SIC alla superficie.

●  Confronto: Mentre i rivestimenti SIC CVD offrono alcuni vantaggi, come la deposizione conforme su forme complesse e proprietà del film sintonizzabili, potrebbero non corrispondere alla robustezza e alle prestazioni di SIC solido. Lo spessore del rivestimento, la struttura cristallina e la rugosità superficiale possono variare in base ai parametri del processo CVD, influendo potenzialmente sulla durata del rivestimento e sulle prestazioni complessive.


In sintesi, l'anello di messa a fuoco SIC solido a semiconduttore Vetek è una scelta eccezionale per le applicazioni di incisione a secco. Il suo materiale SIC solido garantisce una resistenza ad alta temperatura, un'eccellente durezza e inerzia chimica, rendendolo una soluzione affidabile e duratura. Mentre il rivestimento SIC CVD offre flessibilità in deposizione, l'anello SIC CVD eccelle nel fornire durata e prestazioni senza pari richieste per impegnativi processi di incisione a secco.


Proprietà fisiche di SIC solido


Proprietà fisiche di SIC solido
Densità 3.21 g/cm3
Resistività elettrica 102 Ω/cm
Forza di flessione 590 MPA (6000kgf/cm2)
Il modulo di Young 450 GPA (6000kgf/mm2)
Vickers Durezza 26 GPA (2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃) 4.0 X10-6/K
Conducibilità termica (RT) 250 Con Mk


Vetek Semiconductor CVD Processo Solid Sic Edge Ring Production Shop

CVD Process Solid SiC Ring Production Shop


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