Sic Shower Head

Vetek Semiconductor fornisce un capo doccia SIC avanzato all'industria dei semiconduttori. I materiali in carburo di silicio hanno una combinazione unica di eccellenti proprietà termiche, elettriche e chimiche, rendendoli ideali per applicazioni nel settore dei semiconduttori in cui sono richiesti materiali ad alte prestazioni. Vetek Semiconductor ha una lunga esperienza accumulata nella tecnologia SIC solido CVD. La tecnologia rivoluzionaria di Vetek Semiconductor consente la produzione di Sic Shower Head, un materiale in carburo di silicio di purezza ultra-alta creata attraverso il processo di deposizione di vapore chimico.

La doccia SIC è un componente cruciale nella produzione di semiconduttori, appositamente progettato per sistemi MOCVD, epitassia in silicio eSicprocessi di epitassia. Realizzato da robustocarburo di silicio solido (SIC), questo componente può resistere alle condizioni estreme di elaborazione del plasma e applicazioni ad alta temperatura.

Silicio carburo (sic)è noto per la sua alta conducibilità termica, resistenza alla corrosione chimica ed eccezionale resistenza meccanica, rendendolo un materiale ideale per componenti SIC alla rinfusa come il soffione SIC. Il soffione della doccia a gas garantisce una distribuzione uniforme dei gas di processo sulla superficie del wafer, che è essenziale per produrre strati epitassiali di alta qualità. Gli anelli di messa a fuoco e gli anelli dei bordi, spesso realizzati con CVD-SIC, mantengono la distribuzione del plasma uniforme e proteggono la camera dalla contaminazione, migliorando l'efficienza e la resa della crescita epitassiale.

Con il suo preciso controllo del flusso di gas e le proprietà del materiale eccezionale, il soffione della doccia SiC è un componente chiave nella moderna elaborazione dei semiconduttori, supportando applicazioni avanzate nell'epitassia del silicio e nell'epitassia SIC.

Vetek Semiconductor offre un capo doccia a semiconduttore in carburo di silicio a bassa resistività. Abbiamo la capacità di ingegnere personalizzato e fornireMateriali ceramici avanzatiUtilizzando una varietà di capacità uniche.