Piastra di supporto al piedistallo di rivestimento TAC

Vetek Semiconductor è produttore e fornitore di porcellane che produce principalmente suscettori di rivestimento TAC CVD, anello di ingresso, wafer chunck, supporto rivestito TAC, piastra di supporto al piedistallo di rivestimento TAC con molti anni di esperienza. Spero di costruire relazioni commerciali con te.

La ceramica TAC ha un punto di fusione fino a 3880 ℃, alta durezza (durezza MOHS 9 ~ 10), grande conducibilità termica (22W · m^-1· K⁻¹), grande resistenza alla flessione (340 ~ 400mpa) e coefficiente di espansione termica piccola (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) e mostra un'eccellente stabilità termochimica e eccellenti proprietà fisiche. Ha una buona compatibilità chimica e meccanica con materiali compositi di grafite e C/C, quindi il rivestimento TAC è ampiamente utilizzato nella protezione termica aerospaziale, nella crescita dei cristalli singoli e nei reattori epitassiali come Aixtron, reattore EPI LPE nell'industria dei semiconduttori. 

La grafite rivestita in tac ha una migliore resistenza alla corrosione chimica rispetto all'inchiostro in pietra nuda o alla grafite rivestita di SIC, può essere utilizzata stabilmente a 2200 ° temperature, non reagisce con molti elementi metallici, è la terza generazione di semiconduttore a una crescita di epitassie e epitassie di alta epitassia di wafs e la scena di epitassia di wafs di altissima epitassia di epitassia di wafs e la scena del wafs di alta emitassia e del wafs di epitassia di waf. wafer. È particolarmente adatto per la coltivazione di cristalli di GAN o ALN singolo nelle apparecchiature MOCVD e un singolo cristallo SIC nelle apparecchiature in PVT e la qualità del singolo cristallo coltivato è ovviamente migliorata.