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Disco di rotazione planetaria rivestito in carburo di tantalum
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Disco di rotazione planetaria rivestito in carburo di tantalum

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore leader di dischi di rotazione planetaria rivestiti in carburo di tantalio in Cina, specializzato da molti anni sulla tecnologia di rivestimento TaC. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e un'eccellente resistenza alle alte temperature, ampiamente riconosciute dai produttori di semiconduttori. Il disco di rotazione planetaria rivestito in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor è diventato la spina dorsale del settore dell'epitassia dei wafer. Saremo lieti di stabilire con voi una partnership a lungo termine per promuovere congiuntamente il progresso tecnologico e l’ottimizzazione della produzione.


Disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio di alta qualità è offerto dal produttore cinese VeTek Semiconductor. AcquistareRivestito in carburo di tantalioDisco di rotazione planetaria che è di alta qualità direttamente a basso prezzo.

Il disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio è un accessorio progettato per il sistema MOCVD AIXTRON G10, con l'obiettivo di migliorare l'efficienza e la qualità nella produzione di semiconduttori. Realizzato con materiali di alta qualità e prodotto con precisione, il disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio offre prestazioni e affidabilità eccezionali perDeposizione chimica da fase vapore metallo-organica (Mocvd) processi.

Il disco planetario è costruito utilizzando un substrato di grafite rivestito conCVD TAC, fornendo un'eccellente stabilità termica, alta purezza e resistenza alle alte temperature.

Personalizzabile per ospitare diverse dimensioni dei wafer di semiconduttore, il disco planetario è adatto a vari requisiti di produzione. La sua costruzione robusta è specificamente progettata per resistere alle impegnative condizioni operative del sistema MOCVD, garantendo prestazioni di lunga durata e minimizzando i tempi di inattività e i costi di manutenzione associati a vettori di wafer e suscettori.

Con il disco planetario, ilSistema AIXTRON G10 Mocvdpuò ottenere una maggiore efficienza e risultati superiori nella produzione di semiconduttori. La sua eccezionale stabilità termica, la compatibilità con diverse dimensioni di wafer e prestazioni affidabili lo rendono uno strumento essenziale per ottimizzare l'efficienza della produzione e ottenere risultati eccezionali nell'ambiente MOCVD impegnativo.

Parametro del prodotto del disco di rotazione planetario rivestito in carburo di Tantalum:

Proprietà fisiche del rivestimento TAC
Densità di rivestimento TAC 14,3 (g/cm³)
Emissività specifica 0.3
Coefficiente di dilatazione termica 6.3*10-6/K
Durezza del rivestimento TaC (HK) 2000 Hong Kong
Resistenza 1×10-5Ohm*cm
Stabilità termica <2500 ℃
La dimensione della grafite cambia -10~-20um
Spessore del rivestimento Valore tipico ≥20um (35um±10um)


Barriera AlGaN: uniformità della composizione dell'Al:

Al composition uniformity


Semiconduttore commerciale:

VeTek Semiconductor Production Shop

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