Recettore Aixtron MOCVD

I suscettori prodotti daVetek Semiconduttoresono realizzati con substrato di grafite e materiale di rivestimento in carburo di silicio (SiC). Data la maggiore resistenza all'usura, alla corrosione e la durezza estremamente elevata del materiale SiC, è particolarmente adatto per l'uso in ambienti di processo difficili. Pertanto, i suscettori prodotti da Vetek Semiconductor possono essere utilizzati direttamente nei processi MOCVD ad alta temperatura senza ulteriore trattamento superficiale.

I suscettori sono componenti chiave nella produzione di semiconduttori, in particolare nelle apparecchiature MOCVD per i processi di deposizione di film sottili. Il ruolo principale diAixtron: Quindi il supportonel processo MOCVD è quello di trasportare wafer semiconduttori, garantire una deposizione uniforme e di alta qualità di film sottili fornendo una distribuzione uniforme del calore e un ambiente di reazione, ottenendo così una produzione di film sottile di alta qualità.

Recettore Aixtron MOCVDdi solito viene utilizzato per supportare e riparare la base dei wafer a semiconduttore per garantire la stabilità del wafer durante il processo di deposizione. Allo stesso tempo, il rivestimento superficiale del suscettore MOCVD Aixtron è realizzato in carburo di silicio (SIC), un materiale altamente conduttivo termicamente. Il rivestimento SIC garantisce una temperatura uniforme sulla superficie del wafer e il riscaldamento uniforme è essenziale per ottenere film di alta qualità.

Inoltre, ilRecettore Aixtron MOCVDProduciamo svolge un ruolo maggiore nel controllo del flusso e della distribuzione dei gas reattivi attraverso la progettazione ottimizzata dei materiali. Evita le correnti elevate e i gradienti di temperatura per ottenere una deposizione di film uniforme.

Ancora più importante, nel processo MOCVD, il materiale di rivestimento in carburo di silicio (SiC) ha resistenza alla corrosioneVetek Semiconduttore'SRecettore Aixtron MOCVDpuò anche resistere a temperature elevate e gas corrosivi.

Proprietà fisiche di base diRIVESTIMENTO SIC:

Negozi di barche per wafer a semiconduttore Vetek:

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori: