Suscettore di grafite di rivestimento CVD SIC

Il suscettore di grafite di rivestimento SIC CVD è appositamente progettato per la produzione ad alta precisione nel settore dei semiconduttori. Il substrato di grafite è rivestito con uno strato SIC ad alta purezza dal processo CVD, che ha un'eccellente resistenza ad alta temperatura, resistenza alla corrosione e resistenza all'ossidazione e può funzionare stabilmente per lungo tempo in ambienti ad alta temperatura e sottovuotazione. Questo piedistallo è ampiamente utilizzato in MOCVD, PECVD, PVD e altre attrezzature per supportare la lavorazione e la gestione di wafer e altri materiali ad alta precisione.

Vantaggi fondamentali:

● Stabilità ad alta temperatura: La stessa grafite ad alta purezza ha un'eccellente stabilità termica. Dopo essere stato rivestito con rivestimento SIC, può resistere a ambienti estremi di temperatura più elevati ed è adatto a processi ad alta temperatura nell'elaborazione dei semiconduttori.

● AngoloResistenza agli ioni: Il rivestimento SIC CVD è resistente alla corrosione acida e alcali e può avere una lunga durata nel processo CVD.

● Alto hArdine e resistenza all'ossidazione: Il rivestimento SIC CVD ha un'eccellente durezza, resistenza ai graffi e resistenza all'ossidazione ad alte temperature per mantenere la stabilità del materiale.

● Buona conduttività termica: La combinazione di substrato di grafite e suscettore di rivestimento SIC CVD fa sì che la base abbia un'eccellente conduttività termica, che può effettivamente condurre calore e migliorare l'efficienza della produzione.

Specifiche del prodotto:

● Materiale: substrato di grafite + rivestimento SIC CVD

● Spessore del rivestimento: può essere personalizzato in base alle esigenze dei clienti

● Ambiente applicabile: Alta temperatura, vuoto, ambiente di gas corrosivo

Servizio personalizzato:

Forniamo servizi altamente personalizzati per soddisfare le esigenze delle diverse attrezzature e processi dei clienti. Secondo l'applicazione specifica del cliente, è possibile fornire basi di grafite con diversi spessori di rivestimento, trattamenti superficiali e livelli di precisione.

Veteksemi ha sempre lavorato nell'industria del rivestimento in carburo di silicio CVD e ha il livello di produzione e produzione di base di grafite SIC CVD leader del settore. Se hai bisogno di maggiori informazioni sul prodotto o servizi personalizzati, contattare Vetek Semiconductor, ti forniremo con tutto il cuore supporto professionale.

SEM Dati della struttura cristallina del film SIC CVD:

SemiconduttoreNegozi di prodotti per suscettori di ramite di rivestimento CVD SIC: