Cos'è il rivestimento CVD TAC? - Veteksemi

Come tutti sapevamo,carburo di tantalio (TaC)ha un punto di fusione fino a 3880 ° C, alta resistenza meccanica, durezza, resistenza agli shock termici; Buona inerzia chimica e stabilità termica a ammoniaca, idrogeno, vapore contenente silicio ad alte temperature.

Rivestimento in carburo di tantalio su una sezione trasversale microscopica

Rivestimento CVD TAC, deposizione di vapore chimico (CVD) dirivestimento in carburo di tantalio (TaC)., è un processo per formare un rivestimento durevole e ad alta densità su un substrato (solitamente grafite). Questo metodo prevede il deposito di TaC sulla superficie del substrato ad alte temperature, ottenendo un rivestimento con eccellente stabilità termica e resistenza chimica.

I principali vantaggi dei rivestimenti CVD TaC includono:

● Stabilità termica estremamente elevata: Il rivestimento in carburo di tantalio può resistere a temperature superiori a 2200°C.

●  Resistenza chimica: Il rivestimento CVD TAC può resistere efficacemente a sostanze chimiche dure come idrogeno, ammoniaca e vapore di silicio.

●  Forte adesione: Il rivestimento TAC garantisce una protezione duratura senza delaminazione.

● elevata purezza: riduce al minimo le impurità, rendendolo ideale per applicazioni su semiconduttori.

Questi rivestimenti sono particolarmente adatti per ambienti che richiedono un'elevata durata e resistenza a condizioni estreme, come la produzione di semiconduttori e i processi industriali ad alta temperatura.

Nella produzione industriale, grafite (composito carbonio-carbonio) i materiali rivestiti con rivestimento TaC molto probabilmente sostituiranno la tradizionale grafite ad elevata purezza, il rivestimento pBN, le parti di rivestimento SiC, ecc. Inoltre, nel campo aerospaziale, il TaC ha un grande potenziale per essere utilizzato come antiossidante ad alta temperatura e rivestimento antiablazione e ha ampie prospettive di applicazione. Tuttavia, ci sono ancora molte sfide per ottenere la preparazione di un rivestimento TaC denso, uniforme e che non si sfalda sulla superficie della grafite e promuovere la produzione industriale di massa.

In questo processo, esplorare il meccanismo di protezione del rivestimento, innovare il processo di produzione e competere con il massimo livello estero è cruciale per la terza generazioneCrescita del cristallo a semiconduttore ed epitassia.

Vetek Semiconductor è un produttore cinese professionista di prodotti di rivestimento in carburo TantaLum CVD e la nostra purezza di rivestimento TAC è inferiore alle 17pm, può soddisfare le esigenze dei clienti. VETEKSEMI I prodotti rivestiti TAC CVD principali includono CVD TAC rivestimento crogiolo, CVD TAC Coating Wafer Carrier, Vettore di rivestimento CVD TAC, Copertura del rivestimento CVD TAC,  Anello di rivestimento CVD TAC. VeTek Semiconductor si impegna a fornire soluzioni avanzate per vari prodotti di rivestimento per l'industria dei semiconduttori. VeTek Semiconductor spera sinceramente di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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