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Ceramica in carburo di silicio (sic)è un materiale ceramico avanzato contenente silicio e carbonio. Già nel 1893, la polvere SIC sintetizzata artificialmente iniziò a essere prodotta in serie come abrasivo. I cereali in carburo di silicio preparato possono essere sinterizzati per formarsi molto duramenteceramica, che èCeramica sic.
Struttura della ceramica sic
La ceramica SIC ha le eccellenti caratteristiche di alta durezza, elevata resistenza e resistenza di compressione, stabilità ad alta temperatura, buona conduttività termica, resistenza alla corrosione e coefficiente di bassa espansione. Le ceramiche SIC sono attualmente ampiamente utilizzate nei campi di automobili, protezione ambientale, aerospaziale, informazioni elettroniche, energia, ecc. E sono diventate una componente importante insostituibile o una parte fondamentale in molti campi industriali.
Al momento, il processo di preparazione della ceramica in carburo di silicio è diviso inSintering di reazione, Sintering senza pressioni, Sintering a caldoESintering di ricristallizzazione. La sinterizzazione della reazione ha il più grande mercato e basso costo di produzione; La sinterizzazione senza pressioni ha un costo elevato ma prestazioni eccellenti; La sinterizzazione a caldo ha le migliori prestazioni ma costi elevati ed è utilizzata principalmente in campi ad alta precisione come aerospaziale e semiconduttori; La sinterizzazione della ricristallizzazione produce materiali porosi con scarse prestazioni. Pertanto, le ceramiche SIC utilizzate nell'industria dei semiconduttori sono spesso preparate dalla sinterizzazione pressata a caldo.
I vantaggi e gli svantaggi relativi della ceramica SiC pressata a caldo (HPSC) rispetto agli altri sette tipi di SIC:
Mercati principali e prestazioni di SIC con diversi metodi di produzione
Preparazione della ceramica sic mediante sinterizzazione a caldo:
•Preparazione delle materie prime: La polvere in carburo di silicio di alta purezza viene selezionata come materia prima ed è pretrattata da fresatura a sfera, screening e altri processi per garantire che la distribuzione delle dimensioni delle particelle della polvere sia uniforme.
•Design dello stampo: Progettare uno stampo adatto in base alle dimensioni e alla forma della ceramica in carburo di silicio da preparare.
•Caricamento e pressatura dello stampo: La polvere di carburo di silicio pretrattata viene caricata nello stampo e quindi pressata a condizioni di alta temperatura e ad alta pressione.
•Sintering e raffreddamento: Dopo che il pressato è stato completato, lo stampo e il vuoto in carburo di silicio vengono collocati in una fornace ad alta temperatura per la sinterizzazione. Durante il processo di sinterizzazione, la polvere di carburo di silicio subisce gradualmente una reazione chimica per formare un denso corpo ceramico. Dopo la sinterizzazione, il prodotto viene raffreddato a temperatura ambiente utilizzando un metodo di raffreddamento adeguato.
Diagramma concettuale del forno a induzione in carburo di silicio a caldo:
• (1) vettore di carico di pressione idraulica;
• (2) pistone in acciaio per pressione idraulica;
• (3) dissipatore di calore;
• (4) pistone di trasferimento del carico di grafite ad alta densità;
• (5) dado a calda ad alta densità di grafite;
• (6) isolamento fornace con carico di grafite;
• (7) copertura fornace raffreddata ad acqua ermetica;
• (8) tubo di bobina di induzione in rame raffreddata ad acqua incorporata nella parete del forno ermetico;
• (9) strato di isolamento in fibra di bordo di grafite compresso;
• (10) fornace sanitario raffreddato ad acqua;
• (11) raggio inferiore con telaio idraulico con telaio che mostra il vettore di reazione di forza;
• (12) corpo ceramico HPSC
Le ceramiche Sic pressate a caldo sono:
•PU altoRity:0,98% (SIC a cristallo singolo è puro al 100%).
•Pienamente denso: La densità al 100% si ottiene facilmente (SIC a cristallo singolo è denso al 100%).
•Policrystallino.
•La microstruttura SIC ceramica a cereali a caldo ultrafino raggiunge facilmente la densità del 100%. Ciò rende la ceramica SIC a calore superiori a tutte le altre forme di SIC, tra cui SIC a cristallo singolo e SIC sinterizzato diretto.
Pertanto, la ceramica SIC ha proprietà superiori che superano altri materiali ceramici.
Nell'industria dei semiconduttori, le ceramiche SIC sono state ampiamente utilizzate, come i dischi di macinazione in carburo di silicio per la macinazionewafer, Effettore finale di gestione del waferPer il trasporto di wafer e parti nella camera di reazione di attrezzature per il trattamento termico, ecc.
La ceramica SIC sta svolgendo un ruolo enorme nell'intera industria dei semiconduttori e, con il continuo potenziamento della tecnologia dei semiconduttori, occuperà una posizione più importante.
Ora, abbassare la temperatura di sinterizzazione della ceramica SIC e trovare nuovi ed economici processi di produzione sono ancora al centro dei lavoratori materiali. Allo stesso tempo, esplorare e sviluppare tutti i vantaggi della ceramica sic e beneficiare dell'umanità è il compito principale del semiconduttore Vetek. Riteniamo che la ceramica SIC avrà ampie prospettive di sviluppo e applicazioni.
Proprietà fisiche del vetesemicone sinterizzato in carburo di silicio :
Proprietà
Valore tipico
Composizione chimica
Sic> 95%e <5%
Densità di massa
> 3.07 g/cm³
Porosità apparente
<0,1%
Modulo di rottura a 20 ℃
270 MPA
Modulo di rottura a 1200 ℃
290 MPA
Durezza a 20 ℃
2400 kg/mm²
Dolosità della frattura al 20%
3,3 mpa · m1/2
Conducibilità termica a 1200 ℃
45 W/M.K
Espansione termica a 20-1200 ℃
4.51 × 10-6/℃
Temperatura di lavoro massima
1400 ℃
Resistenza agli shock termici a 1200 ℃
Bene
Vetek Semiconductor è un produttore e fornitore cinese professionista di Vettore di barche per wafer ad alta purezza, Paddle ad alta purezza SIC a sballo, SIC cantilever paddle, Barca da wafer in carburo di silicio, Mocvd SIC Coating SusceptorE Altre ceramiche di semiconduttore. Vetek Semiconductor si impegna a fornire soluzioni avanzate per vari prodotti di rivestimento per l'industria dei semiconduttori.
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