Protettore di rivestimento CVD SIC

Posizionamento del prodotto e funzioni core ：

La protezione del rivestimento SIC CVD è un componente chiave nelle apparecchiature epitassiali in carburo di silicio LPE, utilizzate principalmente per proteggere la struttura interna della camera di reazione e migliorare la stabilità del processo. Le sue funzioni di base includono:

Protezione da corrosione: il rivestimento in carburo di silicio formato dal processo di deposizione di vapore chimico (CVD) può resistere alla corrosione chimica del plasma di cloro/fluoro ed è adatto a ambienti difficili come l'attrezzatura di incisione;

Gestione termica: l'elevata conduttività termica del materiale in carburo di silicio può ottimizzare l'uniformità della temperatura nella camera di reazione e migliorare la qualità dello strato epitassiale;

Ridurre l'inquinamento: come componente di rivestimento, può impedire ai sottoprodotti di reazione di contattare direttamente la camera ed estendere il ciclo di manutenzione dell'attrezzatura.

Caratteristiche tecniche e design ：

Design strutturale:

Di solito diviso in parti di mezzaluna superiore e inferiore, installate simmetricamente attorno al vassoio per formare una struttura protettiva a forma di anello;

Cooperare con componenti come vassoi e soffioni a gas per ottimizzare la distribuzione del flusso d'aria e gli effetti di messa a fuoco del plasma.

Processo di rivestimento:

Il metodo CVD viene utilizzato per depositare rivestimenti SIC ad alta purezza, con un'uniformità di spessore del film entro ± 5% e una rugosità superficiale a partire da Ra≤0,5μm;

Lo spessore tipico del rivestimento è di 100-300 μm e può resistere a un ambiente ad alta temperatura di 1600 ℃.

Scenari di applicazione e vantaggi delle prestazioni ：

Attrezzatura applicabile:

Utilizzato principalmente per la fornace epitassiale in carburo di silicio da 8 pollici da 6 pollici di LPE, a supporto della crescita omoepitassiale SIC;

Adatto per apparecchiature di incisione, apparecchiature MOCVD e altri scenari che richiedono un'elevata resistenza alla corrosione.

Indicatori chiave:

Coefficiente di espansione termica: 4,5 × 10⁻⁶/K (abbinamento con substrato di grafite per ridurre lo stress termico);

Resistività: 0,1-10Ω · cm (requisiti di conducibilità che soddisfa);

Vita di servizio: 3-5 volte più lunga dei tradizionali materiali in quarzo/silicio.

Barriere e sfide tecniche

Questo prodotto deve superare le difficoltà del processo come il controllo dell'uniformità del rivestimento (come la compensazione dello spessore dei bordi) e l'ottimizzazione del legame dell'interfaccia di coating del substrato (≥30 MPA) e allo stesso tempo deve corrispondere alla rotazione ad alta velocità (1000 giri / min) e ai requisiti del gradiente di temperatura delle apparecchiature LPE.