SUS SUSCTOR LED UV con rivestimento SIC

Il suscettore a LED UV profondo rivestito di SiC è il componente del cuscinetto centrale inMOCVD (Deposizione di vapore chimico organico metallico) Attrezzatura. Il suscettore influisce direttamente sull'uniformità, il controllo dello spessore e la qualità del materiale della crescita epitassiale LED UV profonda, in particolare nella crescita dello strato epitassiale di nitruro di alluminio (ALN) con alto contenuto di alluminio, la progettazione e le prestazioni del suscettore sono cruciali.

Il suscettore a LED UV profondo rivestito SIC è appositamente ottimizzato per l'epitassia a LED UV profonda ed è progettato con precisione in base alle caratteristiche ambientali termiche, meccaniche e chimiche per soddisfare rigorosi requisiti di processo.

Vetek Semiconductor utilizza una tecnologia di elaborazione avanzata per garantire una distribuzione uniforme del suscettore all'interno dell'intervallo di temperatura operativa, evitando la crescita non uniforme dello strato epitassiale causato dal gradiente di temperatura. L'elaborazione di precisione controlla la rugosità superficiale, minimizza la contaminazione delle particelle e migliora l'efficienza della conducibilità termica del contatto della superficie del wafer.

Vetek Semiconductor utilizza la grafite SGL come materiale e la superficie viene trattata conRivestimento CVD SIC, che può resistere a lungo a NH3, HCl e atmosfera ad alta temperatura. SIC di SIC di SIC di VETEK Semiconductor rivestito a LED UV profondo corrisponde al coefficiente di espansione termica dei wafer epitassiali di ALN/GAN, riducendo la deformazione o il cracking del wafer causato da stress termico durante il processo.

Soprattutto, il suscettore UV a LED SIC di VETEK Semiconductor ha ricoperto perfettamente l'adattamento alle apparecchiature MOCVD tradizionali (tra cui Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, ecc.). Supporta servizi personalizzati per dimensioni del wafer (2 ~ 8 pollici), progettazione di slot wafer, temperatura di processo e altri requisiti.

Scenari di applicazione:

● Profonda preparazione a LED UV: Applicabile al processo epitassiale dei dispositivi nella banda inferiore a 260 nm (disinfezione UV-C, sterilizzazione e altri campi).

● Epitassia a semiconduttore a nitruro: Utilizzato per la preparazione epitassiale di materiali a semiconduttore come nitruro di gallio (GAN) e nitruro di alluminio (ALN).

● Esperimenti epitassiali a livello di ricerca: Epitassia UV profonda e nuovi esperimenti di sviluppo materiale nelle università e nelle istituzioni di ricerca.

Con il supporto di un forte team tecnico, Vetek Semiconductor è in grado di sviluppare suscettori con specifiche e funzioni uniche in base alle esigenze dei clienti, supportare specifici processi di produzione e fornire servizi a lungo termine.

SEM Dati del film di rivestimento SIC CVD:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SIC CVD:

SemiconduttoreSIC SEC DEEP Deep UV LED SUGGER SHOPS: