I vassoi di grafite MOCVD svolgono un ruolo importante nel processo epitassiale. Questo articolo effettua un'analisi dettagliata sulla selezione di vassoi di grafite MOCVD dalle prospettive delle proprietà dei materiali e degli scenari di applicazione.
I materiali di grafite hanno una vasta gamma di scenari di applicazione. Tra questi, la grafite isotropica e la grafite siliconizzata sono i due principali tipi di materiali di grafite e le loro caratteristiche, scenari di applicazione e vantaggi sono significativamente diversi. Questo blog condurrà un'analisi comparativa da tre aspetti: caratteristiche strutturali, scenari di applicazione e vantaggi del prodotto.
La ceramica in carburo di silicio, comunemente noto come ceramica SIC, sono un materiale versatile con proprietà uniche e una vasta gamma di applicazioni in vari settori. Quella che segue è una discussione dettagliata della sua composizione materiale, delle proprietà fisiche, delle applicazioni specifiche e dei vantaggi nei processi di rivestimento a semiconduttore e dei problemi comuni riscontrati durante l'elaborazione.
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