Suscettore per ricottura termica rapida

VETEK Semiconductor rapido suscettore di ricottura termica con una vita di alta qualità e lunga, benvenuta per indagare US.

La rapida ricottura termica (RTA) è un sottoinsieme cruciale della rapida elaborazione termica utilizzata nella fabbricazione di dispositivi a semiconduttore. Implica il riscaldamento dei singoli wafer per modificare le loro proprietà elettriche attraverso vari trattamenti di calore mirati. Il processo RTA consente l'attivazione di droganti, l'alterazione di interfacce di substrato da film a film o da film a salto o nel substrato del wafer.

Il prodotto a semiconduttore Vetek, rapido suscettore di ricottura termica, svolge un ruolo vitale nel processo RTP. È costruito utilizzando materiale di grafite ad alta purezza con un rivestimento protettivo di carburo di silicio inerte (SIC). Il substrato di silicio con rivestimento SIC può resistere a temperature fino a 1100 ° C, garantendo prestazioni affidabili anche in condizioni estreme. Il rivestimento SIC offre un'eccellente protezione contro la perdita di gas e lo spargimento di particelle, garantendo la longevità del prodotto.

Per mantenere un controllo preciso della temperatura, il chip è incapsulato tra due componenti di grafite ad elevata purezza rivestiti con SiC. È possibile ottenere misurazioni precise della temperatura tramite sensori ad alta temperatura integrati o termocoppie a contatto con il substrato.

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD:

Negozio di produzione di semiconduttori VeTek:

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori: