Cos'è una barca di grafite PECVD?

Ⅰ. Qual è il materiale della barca di grafite PECVD?

Il materiale principale diPECVD Grafite Boat(Plasma migliorato la deposizione di grafite di deposizione di vapore chimico) è realizzato in alta purezzaMateriale di grafite isotropico(La purezza è generalmente ≥99,999%) ed è modificata da processi speciali (come la deposizione di vapore chimico CVD o rivestimento superficiale). La grafite ad alta purezza è ampiamente utilizzata nei sistemi PECVD grazie alla sua eccellente conducibilità elettrica e ad alta conducibilità termica (80 ~ 150 W/m · K). QuestoMateriale di grafite ad alta purezzapuò mantenere una buona stabilità strutturale e stabilità chimica in ambienti ad alta temperatura e può resistere alla corrosione dai gas reattivi e al plasma.

Ⅱ. Quali sono le proprietà fisiche della barca di grafite?

Le proprietà fisiche delle barche di grafite PECVD includono:

● Conducibilità elettrica: La grafite isostatica ha un'eccellente conduttività elettrica, che gli consente di gestire efficacemente l'energia elettrica e promuovere la generazione e il mantenimento del plasma durante il processo PECVD.

●  Conducibilità termica: L'elevata conduttività termica della grafite (circa 80 ~ 150 W/m · K) aiuta a mantenere un ambiente di temperatura stabile durante il processo PECVD e garantire una deposizione uniforme di pellicole sottili.

●  Densità: La densità della grafite policristallina commerciale varia da 1,30 g/cm³ a ​​1,88 g/cm³. Maggiore è la densità, migliore è le proprietà fisiche e meccaniche, che possono migliorare la durata del prodotto.

Ⅲ. Quali sono i vantaggi della barca di grafite PECVD rispetto alla normale barca a grafite?

Rispetto alle normali barche di grafite, le barche di grafite PECVD hanno i seguenti vantaggi:

Ⅳ. Perché scegliere la barca grafite PECVD di Veteksemicon?

Come tutti sappiamo, Veteksemicon è un produttore leader e fornitore di prodotti per rivestimento a semiconduttore eProdotti di grafitein Cina. NostroPECVD PAPITE BATCHEsono utilizzati principalmente nelle industrie a semiconduttore e fotovoltaiche, in particolare nei processi PECVD e CVD.

Le barche di grafite vengono generalmente utilizzate come vettori per trasportare wafer di silicio o altri materiali per garantire una manipolazione e il trasporto sicuri di questi materiali in ambienti ad alta temperatura e plasma. Ad esempio, nel processo di produzione di semiconduttori, le barche di grafite PECVD di Veteksemicon sono progettate per i processi di deposizione di vapore chimico migliorati al plasma. La barca di grafite svolge il ruolo di depositare gli strati di passivazione di nitruro di silicio (SINₓ) e pellicole costante dielettrica bassa (Low-K).

Nel campo fotovoltaico, le barche di grafite PECVD vengono utilizzate per preparare celle solari a film sottile a base di silicio (come gli strati di passione del silicio Amorfo A-SI: H) e per la cella perc. La barca di grafite PECVD di Veteksemicon ottimizza il processo di rivestimento spaziando efficacemente i wafer di silicio e inducendo lo scarico del bagliore per ottenere una deposizione di rivestimento uniforme.

Ancora più importante, Veteksemicon può fornire prodotti e servizi tecnici personalizzati e può progettare e produrre prodotti in barca a grafite di diverse specifiche in base ai requisiti di processo effettivi. Scegliere Veteksemicon significa scegliere un leader del settore con una forte resistenza nelle industrie dei semiconduttori e fotovoltaici. Non vediamo l'ora di diventare il tuo partner a lungo termine.