SIC Coating Wafer Carrier

Vetek Semiconductor è specializzato nella produzione e nella fornitura di vettori di wafer di rivestimento SIC ad alte prestazioni ed è impegnata a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto al settore dei semiconduttori.

Nella produzione di semiconduttori, il vettore di wafer di rivestimento SiC di Vetek Semiconductor è un componente chiave nelle apparecchiature di deposizione di vapore chimica (CVD), in particolare nelle apparecchiature di deposizione di vapore chimico organico metallico (MOCVD). Il suo compito principale è supportare e riscaldare il substrato di cristallo singolo in modo che lo strato epitassiale possa crescere uniformemente. Questo è essenziale per la produzione di dispositivi a semiconduttore di alta qualità.

La resistenza alla corrosione del rivestimento SIC è molto buona, il che può effettivamente proteggere la base di grafite dai gas corrosivi. Ciò è particolarmente importante in ambienti ad alta temperatura e corrosivi. Inoltre, anche la conduttività termica del materiale SIC è molto eccellente, il che può condurre uniformemente il calore e garantire una distribuzione uniforme della temperatura, migliorando così la qualità di crescita dei materiali epitassiali.

Il rivestimento SIC mantiene la stabilità chimica ad alta temperatura e atmosfera corrosiva, evitando il problema del fallimento del rivestimento. Ancora più importante, il coefficiente di espansione termica di SIC è simile a quello della grafite, che può evitare il problema del rivestimento a causa dell'espansione e della contrazione termica e garantire la stabilità e l'affidabilità a lungo termine del rivestimento.

Proprietà fisiche di base diSIC Coating Wafer Carrier:

Negozio di produzione:

Panoramica della catena dell'industria dell'epitassia del chip a semiconduttore: