SIC Single Crystal Growth Process Rampping Parti

Prodotto di Veteksemicon, ilrivestimento in carburo di tantalum (TAC)Prodotti per il processo di crescita dei cristalli singolo SIC, affronta le sfide associate all'interfaccia di crescita dei cristalli di carburo di silicio (SIC), in particolare i difetti completi che si verificano sul bordo del cristallo. Applicando il rivestimento TAC, miriamo a migliorare la qualità della crescita dei cristalli e ad aumentare l'area effettiva del Crystal's Center, che è cruciale per raggiungere una crescita rapida e spessa.

Il rivestimento TAC è una soluzione tecnologica fondamentale per la crescita di alta qualitàSic Processo di crescita a cristallo singolo. Abbiamo sviluppato con successo una tecnologia di rivestimento TAC utilizzando la deposizione di vapore chimico (CVD), che ha raggiunto un livello a livello internazionale. TAC ha proprietà eccezionali, tra cui un elevato punto di fusione fino a 3880 ° C, eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici. Presenta anche una buona inerzia chimica e stabilità termica se esposti ad alte temperature e sostanze come ammoniaca, idrogeno e vapore contenente silicio.

Vekekemicon'srivestimento in carburo di tantalum (TAC)Offre una soluzione per affrontare i problemi relativi ai bordi nel processo di crescita dei cristalli singoli SIC, migliorando la qualità e l'efficienza del processo di crescita. Con la nostra tecnologia di rivestimento TAC avanzata, miriamo a supportare lo sviluppo del settore dei semiconduttori di terza generazione e ridurre la dipendenza dai materiali chiave importati.

Metodo PVT SIC Peti di ricambio Processo di crescita a cristallo singolo:

Crogiolo rivestito TAC, supporto per semi con rivestimento TAC, anello di rivestimento del rivestimento TAC sono parti importanti nel forno SIC e AIN a cristallo singolo con metodo PVT.

● Resistenza ad alta temperatura

●  Alta purezza, non inquinerà materie prime SIC e singoli cristalli SIC.

●  Resistente a al vapore e N₂ Corrosione

●  Elevata temperatura eutettica (con ALN) per abbreviare il ciclo di preparazione del cristallo.

●  Riciclabile (fino a 200 ore), migliora la sostenibilità e l'efficienza della preparazione di tali singoli cristalli.