TAC rivestimento crogiolo

Offerte semiconduttoriCruvi con rivestimento CVD TACDi solito svolgono i seguenti ruoli chiave nel metodo PVT Sic Processo di crescita dei cristalli singoli:

Il metodo PVT si riferisce al posizionamento di un cristallo di semi SiC sopra il crogiolo rivestito TAC e al posizionamento della polvere SIC come materia prima nella parte inferiore del crogiolo. In un ambiente chiuso di alta temperatura e bassa pressione, la polvere SIC sublimata e sotto l'azione del gradiente di temperatura e della differenza di concentrazione, ilPolvere sicviene trasferito nelle vicinanze del cristallo di semi e raggiunge uno stato supersaturo dopo la ricristallizzazione. Pertanto, il metodo PVT può ottenere una crescita controllabile della dimensione del cristallo SIC e della forma specifica di cristalli.

● Stabilità termica della crescita dei cristalli

I crogioli rivestiti a semiconduttore VETEK hanno un'eccellente stabilità termica (può rimanere stabile al di sotto di 2200 ℃), il che aiuta a mantenere la loro integrità strutturale anche alle temperature estremamente elevate richieste per la crescita a singolo cristallo. Questa proprietà fisica consente al crogiolo di grafite rivestito di SiC per controllare con precisione il processo di crescita dei cristalli, con conseguenti cristalli altamente uniformi e privi di difetti.

● Eccellente barriera chimica

I crogioli rivestiti TAC combinano un rivestimento in carburo di tantalum con un crogiolo di grafite ad alta purezza per fornire un'eccellente resistenza a una vasta gamma di sostanze chimiche corrosive e materiali fusi comunemente incontrati durante la crescita a singolo cristallo SIC. Questa proprietà è fondamentale per raggiungere cristalli di alta qualità con difetti minimi.

● Sumulo di vibrazioni per un ambiente di crescita stabile

Le eccellenti proprietà di smorzamento del crogiolo rivestito TAC minimizzano le vibrazioni e lo shock termico all'interno del crogiolo di grafite, contribuendo ulteriormente a un ambiente di crescita dei cristalli stabile e controllato. Mitigando queste potenziali fonti di interferenza, il rivestimento TAC consente la crescita di cristalli più grandi e uniformi con densità di difetto ridotta, aumentando la resa dei dispositivi e migliorando le prestazioni del dispositivo.

● Eccellente conducibilità termica

I crogioli rivestiti di Veteksemicon hanno un'eccellente conduttività termica, che aiuta il crogiolo di grafite a trasferire il calore in modo rapido e uniforme. Ciò determina il controllo preciso della temperatura durante il processo di crescita dei cristalli, minimizzando i difetti cristallini causati da gradienti termici.

Rivestimento in carburo di tantalum (TAC) su una sezione microscopica

Proprietà fisiche diRivestimento in carburo di tantalum

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