Anello rivestito TAC

L'anello rivestito di Veteksemi TAC è un componente ad alte prestazioni su misura per i processi di produzione di semiconduttori. Il suo rivestimento in carburo di TantaLum (TAC) progettato in modo univoco consente al prodotto un'eccellente resistenza ad alta temperatura, resistenza alla corrosione e stabilità meccanica, migliorando significativamente la durata di servizio e l'affidabilità dei componenti di grafite nelle apparecchiature a semiconduttore.

Prestazioni superiori di rivestimenti in carburo di Tantalum ：

● Resistenza alla temperatura ultra-alta: i rivestimenti TAC possono facilmente resistere a temperature estreme fino a 2200 ° C e rimanere stabili in ambienti di shock termico comuni nella produzione di semiconduttori.

● Eccellente stabilità chimica: il rivestimento mostra una forte resistenza a gas corrosivi comuni come idrogeno, ammoniaca, silano e silicio, proteggendo efficacemente il substrato dall'attacco chimico.

● Eccellenti proprietà meccaniche: il rivestimento TAC ha un'elevata durezza, un'elevata resistenza all'usura e una buona resistenza agli shock termici e può funzionare stabilmente per lungo tempo in condizioni di lavoro difficili.

● Eccellente adesione: il rivestimento è strettamente legato al substrato di grafite, impedendo effettivamente il rivestimento di staccare e garantendo prestazioni coerenti durante la durata del prodotto.

● Elevata purezza: il rivestimento TAC preparato da CVD ha una purezza estremamente elevata, che riduce al minimo l'introduzione delle impurità e fornisce un ambiente di processo pulito per la produzione di semiconduttori.

Vantaggi degli anelli rivestiti in carburo di Tantalum:

● Vita delle attrezzature estese: Il rivestimento TAC blocca efficacemente le reazioni chimiche e la diffusione dell'impurità, estendendo in modo significativo la durata della durata dei componenti della grafite e riducendo i costi di manutenzione.

● Migliora l'efficienza della produzione: La resistenza ad alta temperatura del prodotto e la resistenza alla corrosione consentono di funzionare in condizioni più impegnative, accorciando il ciclo di produzione e aumentando la capacità di produzione.

● Miglioramento della qualità del prodotto: Il rivestimento TAC ad alta purezza aiuta a ridurre la contaminazione, garantendo la qualità e la coerenza dei prodotti a semiconduttore.

Vetek Semiconductor è stato specializzato in prodotti di rivestimento TAC comeTAC rivestimento Chuck, Piastra di rotazione del rivestimento TAC, Subser per rivestimento TAC, Sussector wafer rivestito tacper molti anni. I nostri prodotti ad anello rivestito TAC hanno le funzioni della vita di attrezzature estese, una migliore efficienza di produzione e una migliore qualità del prodotto. Allo stesso tempo, Vetek Semiconductor è stato a lungo impegnato a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto per l'industria dei semiconduttori. 

A causa delle diverse proprietà chimiche dei materiali in carburo di grafite e TantaLum, il coefficiente di espansione termica non corrisponderà ed è facile essere riscaldati ad alta temperatura dal semiconduttore Vetek attraverso un processo specifico per promuovere il rivestimento in carburo di Tantalum in parte depositato in parte sulla superficie del matrix e in parte per il matrice di grafite. In questo modo, il rivestimento in carburo di TantaLum è strettamente nidificato nella matrice di grafite attraverso la crescita in situ, che aumenta significativamente la forza di legame tra il rivestimento e la matrice e impedisce efficacemente il peeling del rivestimento in carburo di TantaLum. Speriamo sinceramente di diventare il tuo partner a lungo termine in Cina.

Negozi di anelli rivestiti in carburo di Tantalum: