Anello rivestito in carburo di tantalum

Anello rivestito in carburo di semiconduttore vetek tantalum è realizzato dagrafitee ricoperto di carburo di Tantalum, una combinazione che sfrutta le migliori proprietà di entrambi i materiali per garantire prestazioni e longevità superiori. 

Il rivestimento TAC sull'anello di rivestimento in carburo di Tantalum assicura che rimanga chimicamente inerte nelle atmosfere reattive dei forni di crescita dei cristalli SIC, che spesso coinvolgono gas come idrogeno, argon e azoto. Questa inerzia chimica è vitale per prevenire qualsiasi contaminazione del cristallo in crescita, che potrebbe portare a difetti e ridotte prestazioni dei prodotti a semiconduttore finale. Inoltre, la stabilità termica fornita dal rivestimento TAC consente all'anello di rivestimento in carburo di TantaLum di funzionare efficacemente alle alte temperature richieste per la crescita del cristallo SIC, in genere superiore a 2000 ° C.

Il rivestimento TAC denso e uniforme può essere preparato su superficie di grafite mediante spruzzatura del plasma, metodo CVD e metodo di sinterizzazione del liquame, ma il metodo di spruzzatura del plasma ha elevato requisiti di apparecchiature e formazione di TA2C. È difficile preparare il rivestimento composito con il metodo di sinterizzazione del liquame e la resistenza agli shock termici del rivestimento è scarsa. Il rivestimento preparato con il metodo CVD ha una composizione controllabile e la massima densità, che è attualmente un metodo comune di rivestimento in carburo di Tantalum.

Le proprietà meccaniche di TAC riducono notevolmente l'usura sull'anello di rivestimento in carburo di Tantalum. Ciò è cruciale a causa della natura ripetitiva del processo di crescita dei cristalli, che espone l'anello guida a frequenti cicli termici e sollecitazioni meccaniche. La resistenza alla durezza e all'usura di TAC assicurano che l'anello rivestito TAC mantenga la sua integrità strutturale e dimensioni precise per lunghi periodi, riducendo al minimo la necessità di frequenti sostituti e riducendo i tempi di inattività nel processo di produzione. 

La densità di massa del rivestimento in carburo di Tantalum è di 14,3 gm/cm3, l'emissività 0,3, la durezza è 2000HK, il punto di fusione è 3950 ℃ e buone proprietà fisiche sono state selezionate come materiale comune per la terza generazione di semiconduttori.

Inoltre, la combinazione di grafite e TAC nell'anello di rivestimento in carburo di TantaLum ottimizza la gestione termica all'interno del forno di crescita del cristallo. L'elevata conduttività termica di grafite distribuisce efficiente il calore, prevenendo gli hotspot e promuovendo la crescita dei cristalli uniforme. Nel frattempo, il rivestimento TAC funge da barriera termica, proteggendo il nucleo di grafite dall'esposizione diretta a temperature elevate e gas reattivi. Questa sinergia tra il nucleo e i materiali di rivestimento si traduce in un anello guida che non solo resiste alle difficili condizioni diCrescita del cristallo SICMa migliora anche l'efficienza complessiva e la qualità del processo.

L'anello rivestito in carburo di semiconduttore di vetek tantalum è un componente essenziale nel settore dei semiconduttori, specificamente progettata per la crescita diCristalli di carburo di silicio. Il suo design sfrutta i punti di forza del carburo di grafite e tantalum per offrire prestazioni eccezionali in ambienti ad alta temperatura e ad alto stress. Il rivestimento TAC garantisce l'inertezza chimica, la durata meccanica e la stabilità termica, tutti fondamentali per produrre cristalli SIC di alta qualità. Mantenendo la sua integrità e funzionalità in condizioni estreme, l'anello supporta la crescita efficiente e priva di difetti dei cristalli SIC, contribuendo al progresso di dispositivi a semiconduttore ad alta potenza e ad alta frequenza.

Vetek Semiconductor è un produttore e fornitore leader diRivestimento in carburo di tantalum, Rivestimento in carburo di silicioEGrafite specialein Cina. Ci siamo impegnati a lungo a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto per l'industria dei semiconduttori e speriamo sinceramente di essere il tuo partner a lungo termine in Cina.

Rivestimento in carburo di tantalum (TAC)su una sezione microscopica：

Panoramica delCatena dell'industria dell'epitassia a semiconduttore：