Mandrino elettrostatico ceramico in nitruro di alluminio (AlN).

1.Vantaggi

• Ceramica AlN di elevata purezza con conduttività termica fino a ~180 W/m·K per un efficiente trasferimento di calore e uniformità della temperatura

• Forte isolamento elettrico e resistività di volume elevata che supportano un bloccaggio stabile a 1–3 kV (sono disponibili tensioni più elevate)

• Materiali degli strati dielettrici personalizzati e layout degli elettrodi: Coulomb o Johnsen-Rahbek (JR); mono o multizona

• Prestazioni di bloccaggio e sbloccaggio rapide, in genere inferiori a 0,1 secondi

• Microstrutture superficiali con fossette fino a ~300 μm di diametro, riducendo l'area di contatto fino a ~1%

• Elevata capacità di planarità; planarità globale tipica dell'ordine di 0,5–3 μm PV per piattaforme di classe 300 mm

• Microstruttura densa con assorbimento d'acqua prossimo allo zero e buona resistenza chimica per ambienti di processo

2.Applicazioni tipiche

I mandrini elettrostatici in ceramica al nitruro di alluminio vengono utilizzati nelle fasi del processo che richiedono sia il fissaggio sicuro del wafer che un comportamento termico controllato:

• Attacco al plasma a secco (ICP/RIE) e relativi processi in camera

• CVD, PEALD, ALD termico e altri stadi di deposizione di film sottile

• Moduli di ricottura e di processo termico che richiedono una temperatura del wafer uniforme

• Fasi di ispezione, metrologia e precisione dove il basso contenuto di particelle e il bloccaggio stabile sono fondamentali

3.Gradi di materiale AlN – Proprietà tipiche

VeTek offre diversi gradi di nitruro di alluminio per bilanciare conduttività termica, resistenza meccanica e costi per i progetti ESC:

Unità: Conduttività termica in W/(m·K); rigidità dielettrica in kV/mm; resistività di volume in Ω·cm (25 °C); costante dielettrica a 1 MHz. I valori sono tipici e possono variare in base al processo e alla geometria della parte.

4.Parametri di progettazione tipici dell'ESC

5.Perché Choose Mandrini elettrostatici VeTek AlN?

VeTek Semiconductor integra ceramiche AlN avanzate con la produzione di ESC di precisione per i clienti di semiconduttori che necessitano sia di prestazioni termiche che di bloccaggio affidabile:

• Diversi gradi AlN con conduttività termica da ~90 a ~180 W/m·K per soddisfare i budget termici del processo

• Elettrodo flessibile e design dielettrico per comportamento di bloccaggio Coulomb o JR

• Controllo rigoroso della planarità, della microstruttura superficiale e delle prestazioni di isolamento elettrico

• Supporto completo del ciclo di vita: progettazione, nuova costruzione e ristrutturazione multilivello

Per gli strumenti di incisione, deposizione e termici che dipendono dalla temperatura uniforme del wafer e da un bloccaggio pulito e ripetibile, i mandrini elettrostatici in ceramica al nitruro di alluminio VeTek forniscono una piattaforma ceramica ad alte prestazioni supportata da un supporto tecnico focalizzato sull'applicazione.