Chuck elettrostatico in ceramica

I processi di produzione di semiconduttori, in particolare l'elaborazione dei wafer, vengono effettuati in un ambiente a vuoto e portano meccanicamente wafer 

alcuni rischi. Quando la forza è concentrata sul punto di serraggio, i fragili wafer di silicio possono perdere piccoli frammenti, causando gravi danni alla produzione di wafer.

In questo caso, il mandrino elettrostatico in ceramica diventa una scelta migliore, che corregge il wafer per forza elettrostatica. La forza elettrostatica agisce uniformemente sul wafer, quindi il wafer può essere fisso in modo piatto, migliorando l'accuratezza del processo.

Secondo gli articoli di ricerca pertinenti, il Chuck elettrostatico in ceramica ha una aspirazione più forte di altri Chucks elettrostatici. Ad esempio, il Chuck elettrostatico in ceramica ha un'aspirazione molto più forte di Chuck elettrostatico per film in animali domestici.

Il Chuck in ceramica è generalmente realizzato con materiali ceramici ad alte prestazioni come AL2O3, ALN o SIC, che ha un'alta resistenza al calore, isolamento e resistenza alla corrosione. Il Chuck in ceramica SIC poroso non è solo stabile a temperature estreme, ma impedisce anche effettivamente il de-chuck ceramico di degrado a causa di reagenti chimici e attacco al plasma durante il processo di fabbricazione.

Controllo della temperatura: L'elevata conducibilità termica e le proprietà termiche stabili dei materiali ceramici consentono al mantello del vuoto in ceramica di allumina di controllare efficacemente la temperatura, ottimizzando così la distribuzione della temperatura durante il processo.

Adattabilità al vuoto: Chuck elettrostatico in ceramica è adatto per ambienti a vuoto, in particolare nei processi di incisione a bassa pressione e ad alta precisione.

Bassa generazione di particelle: E-chuck in ceramica SIC poroso ha una superficie liscia, che può ridurre la contaminazione delle particelle durante il fissaggio del wafer e aiutare a migliorare la resa del prodotto.

Applicazione: utilizzato principalmente nella produzione di semiconduttori, mandrino elettrostatico ceramico staccabile che fornisce un posizionamento e una stabilità precisi, che è molto utile per la litografia, l'attacco e altri processi di produzione di elaborazione del wafer di semiconduttore. Assicurarsi che il wafer sia intatto durante la lavorazione e migliora la qualità della produzione di chip.

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