Chuck del vuoto in ceramica di allumina

Il Chuck del vuoto in ceramica di allumina è un supporto di wafer per i processi epitassiali nella lavorazione dei semiconduttori. È uno strumento chiave per stabilizzare i wafer e garantire una crescita uniforme degli strati epitassiali. È ampiamente utilizzato nelle apparecchiature epitassiali comeMocvdELPCVD.

Chuck del vuoto in ceramica in allumina a semiconduttore Vetek svolge un ruolo vitale nelle fasi di assottigliamento e macinazione della produzione di semiconduttori. Queste fasi implicano la riduzione con precisione dello spessore delsubstrato di waferPer migliorare la dissipazione del calore del chip, che è essenziale per migliorare l'efficienza e la vita dei dispositivi a semiconduttore.

Compatibile con più wafer di dimensioni: VETEK Semiconductor Allumina Ceramic Vacuum Chuck è progettato per supportare una vasta gamma di dimensioni di wafer, tra cui 2, 3, 4, 5, 6, 8 e 12 pollici. Questa adattabilità lo rende adatto a una varietà di ambienti di produzione di semiconduttori, garantendo prestazioni coerenti e affidabili tra diverse dimensioni di wafer.

Composizione del materiale superiore: La base del Chuck del vuoto in ceramica di allumina è realizzata con allumina ultra-pura al 99,9999% (AL₂O₃), che offre un'eccellente resistenza all'attacco chimico e alla stabilità termica. La superficie del mandrino è fatta di porososilicio carburo (sic). Il materiale ceramico poroso ha una struttura densa e uniforme, che migliora la sua durata e le sue prestazioni.

Vantaggi diTecnologia ceramica porosa：

Purezza materiale e durata: Realizzato con alumina pura al 99,99%, la nostra Chuck del vuoto in ceramica di allumina resiste all'attacco chimico e offre un'eccellente stabilità termica, rendendola ideale per ambienti di produzione estremamente impegnativi.

Porosità ottimale e permeabilità all'aria: I micropori distribuiti uniformemente forniscono un'eccellente permeabilità all'aria e una forza di adsorbimento uniforme, con conseguente funzionamento regolare e coerente.

Piatteness e parallelismo migliorate: Chucks a vuoto in ceramica di allumina microporosa hanno un'eccellente planarità e parallelismo, garantendo una maneggevolezza e stabilità precisa dei wafer.

Funzionalità di servizio personalizzate: Veteksemi può fornire una varietà di forme personalizzabili, tra cui rotondo, quadrato, anello e altri disegni, con spessore che vanno da 3 mm a 10 mm. Questa personalizzazione garantisce che i nostri mandrini del vuoto in ceramica di allumina soddisfino le esigenze specifiche dei diversi processi di produzione di semiconduttori e siano sicuramente la scelta ideale.

Vetek Semiconductor si impegna a fornire soluzioni avanzate di tecnologia e prodotto per l'industria dei semiconduttori e speriamo sinceramente di essere il tuo partner a lungo termine in Cina.

ILFormula chimica diCeramica di allumina：

SemiconduttoreNegozi di mandrini per aspirapolvere in ceramica allumina: