Anello di rivestimento CVD SiC

Ci sono molte piccole parti nelle parti a mezzaluna e l'anello di rivestimento SiC è uno di questi. Applicando uno strato diRivestimento CVD SICSulla superficie dell'anello di grafite ad alta purezza con metodo CVD, possiamo ottenere l'anello di rivestimento SIC CVD. L'anello di rivestimento SIC con rivestimento SIC ha proprietà eccellenti come la resistenza ad alta temperatura, eccellenti proprietà meccaniche, stabilità chimica, buona conducibilità termica, buona isolamento elettrico e resistenza all'ossidazione eccellente. Anello di rivestimento SIC CVD e rivestimento SiCUndertakerlavorare insieme.

Anello di rivestimento SiC e cooperanteUndertaker

Le funzioni dell'anello di rivestimento CVD SiC:

  ●   Distribuzione del flusso: Il design geometrico dell'anello di rivestimento SIC aiuta a formare un campo di flusso di gas uniforme, in modo che il gas di reazione possa coprire uniformemente la superficie del substrato, garantendo una crescita epitassiale uniforme.

  ●  Scambio termico e uniformità della temperatura: L'anello di rivestimento CVD SiC fornisce buone prestazioni di scambio termico, mantenendo così una temperatura uniforme dell'anello di rivestimento CVD SiC e del substrato. Ciò può evitare difetti di cristallo causati dalle fluttuazioni di temperatura.

  ●  Blocco dell'interfaccia: L'anello di rivestimento SIC CVD può limitare la diffusione dei reagenti in una certa misura, in modo da reagire in un'area specifica, promuovendo così la crescita di cristalli SIC di alta qualità.

  ●  Funzione di supporto: L'anello di rivestimento CVD SiC è combinato con il disco sottostante per formare una struttura stabile per prevenire la deformazione ad alta temperatura e nell'ambiente di reazione e mantenere la stabilità complessiva della camera di reazione.

Vetek Semiconductor si impegna sempre a fornire ai clienti anelli di rivestimento SIC CVD di alta qualità e aiutare i clienti a completare le soluzioni a prezzi più competitivi. Indipendentemente dal tipo di anello di rivestimento SIC CVD di cui hai bisogno, non esitare a consultare Vetek Semiconductor!

DATI SEM DELLA STRUTTURA CRISTALLINA DEL FILM CVD SIC:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD: