Vettore di rivestimento CVD TAC

Vetek Semiconductor è un leader professionista Cina CVD TAC Coating Carrier, Epitaxy Susceptor,Supporto di grafite rivestito TACproduttore.

Attraverso la ricerca continua di processo e innovazione materiale, il vettore di rivestimento TAC CVD TAC di Vetek Semiconductor svolge un ruolo molto critico nel processo epitassiale, principalmente includendo i seguenti aspetti:

Protezione del substrato: Il vettore di rivestimento TAC CVD fornisce un'eccellente stabilità chimica e stabilità termica, impedendo efficacemente i gas ad alta temperatura e corrosivi di erodere il substrato e la parete interna del reattore, garantendo la purezza e la stabilità dell'ambiente di processo.

Uniformità termica: Combinato con l'elevata conduttività termica del vettore di rivestimento TAC CVD, garantisce l'uniformità della distribuzione della temperatura all'interno del reattore, ottimizza la qualità del cristallo e l'uniformità dello spessore dello strato epitassiale e migliora la coerenza delle prestazioni del prodotto finale.

Controllo della contaminazione da particelle: Poiché i portatori rivestiti CVD TAC hanno velocità di generazione di particelle estremamente basse, le proprietà della superficie liscia riducono significativamente il rischio di contaminazione da particelle, migliorando così la purezza e la resa durante la crescita epitassiale.

Vita di attrezzatura estesa: Combinato con l'eccellente resistenza all'usura e la resistenza alla corrosione del vettore di rivestimento TAC CVD, estende in modo significativo la durata della durata dei componenti della camera di reazione, riduce i tempi di inattività delle attrezzature e i costi di manutenzione e migliora l'efficienza della produzione.

Combinando le caratteristiche di cui sopra, il vettore di rivestimento TAC CVD di Vetek Semiconductor non solo migliora l'affidabilità del processo e la qualità del prodotto nel processo di crescita epitassiale, ma fornisce anche una soluzione economica per la produzione di semiconduttori.

Rivestimento in carburo di tantalum su una sezione trasversale microscopica:

Proprietà fisiche del vettore di rivestimento CVD TAC:

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Production Shop: