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Anello in grafite rivestito in carbonio pirolitico (PyC).
  • Anello in grafite rivestito in carbonio pirolitico (PyC).Anello in grafite rivestito in carbonio pirolitico (PyC).

Anello in grafite rivestito in carbonio pirolitico (PyC).

Nelle configurazioni di crescita dei cristalli SiC PVT, le parti in grafite vengono fatte funzionare a temperature molto elevate per lunghi periodi. L'anello in grafite rivestito PyC di VeTek è costruito per questo tipo di compito. Uno strato di carbonio pirolitico viene depositato su grafite ad elevata purezza tramite CVD. Ciò conferisce alla parte una migliore stabilità superficiale e meno particelle che si staccano durante il funzionamento. Di solito lo metti nell'area del campo termico per aiutare a gestire il flusso di vapore e il modo in cui il calore si diffonde all'interno del forno. Il rivestimento rallenta inoltre la sublimazione della grafite quando la temperatura supera i 2200°C, prolungando la durata dell'intero componente.

1. Caratteristiche del prodotto

Rivestimento PyC denso e privo di pori: forma uno strato uniforme e stretto che riduce la permeabilità ai gas e la contaminazione delle particelle durante la crescita dei cristalli.
Gestisce bene le alte temperature: rimane strutturalmente sano nel vuoto o in gas inerte oltre i 2200°C.
● Purezza molto elevata: realizzato con grafite purificataoltre a CVD ad elevata purezza, quindi i livelli di impurità rimangono estremamente bassi.
Buona resistenza agli shock termici: la bassa dilatazione termica significa che richiede un riscaldamento e un raffreddamento rapidi senza fessurazioni.
Migliore resistenza alla corrosione: mantiene il substrato di grafite al sicuro dagli attacchi chimici e dalla sublimazione ad alta temperaturadanno.
Maggiore durata: dura molto più a lungo degli anelli in grafite non rivestita, quindi non è necessario sottoporre a manutenzione il forno così spesso.

Effetto rivestimento in carbonio pirolitico al microscopio 500X, con superficie intatta e sigillata.


2. Specifiche tecniche
Articolo
Unità
Valore tipico
Struttura cristallina

Esagonale
Allineamento

Orientato o non orientato lungo la direzione 001
Densità apparente
g/cm³
~2.26
Microstruttura

Grafene policristallino/multistrato
Durezza
GPa
1.4
Modulo elastico
GPa
11
Spessore tipico del rivestimento
µm
20–110
Rugosità superficiale
µm
1.5
Purezza del prodotto
ppm
≤5 ppm


3. Applicazioni

L'anello in grafite rivestito PyC è ampiamente utilizzato in:

● Forni per crescita di cristalli singoli SiC (metodo PVT)
● Sistemi di campo termico per semiconduttori di terza generazione
● Strutture isolanti per la crescita di cristalli ad alta temperatura
● Sistemi di guida del flusso di vapore
● Componenti di forni a vuoto ad alta temperaturaSistemi di gestione termica a semiconduttori


4. Capacità di produzione di VeTek Semiconductor

VeTek Semiconductor si concentra su materiali di rivestimento avanzati e grparti del campo termico in afite per SiC e altre applicazioni a semiconduttore. Ecco cosa facciamo:

● Purificazione della grafite ad elevata purezza
● Lavorazione CNC di precisione
● Rivestimento CVD PyC avanzato
● Produzione di componenti per campi termici di grandi dimensioni
● Soluzioni personalizzate per campi termici
● Rigoroso controllo di qualità di livello semiconduttore. Realizziamo anche parti personalizzate in grafite rivestita in PyC in base ai vostri disegni o alle configurazioni del forno.




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